微納米技術(shù)及其應(yīng)用

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《微納米技術(shù)及其應(yīng)用》在概述了微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)（MEMS）的發(fā)展背景、現(xiàn)狀及應(yīng)用前景的基礎(chǔ)上，論述了MEMS基本理論基礎(chǔ)，并對(duì)MEMS相關(guān)工藝做了詳盡的介紹。書(shū)中分別介紹了MEMS應(yīng)用，數(shù)種典型的物理傳感器和化學(xué)傳感器的工作原理及制造工藝；對(duì)各類微操作器/微執(zhí)行器、微機(jī)械零件、微泵及微機(jī)電系統(tǒng)也做了比較詳細(xì)的論述，之后介紹了與生物芯片相關(guān)的技術(shù)及納米技術(shù)。 
《微納米技術(shù)及其應(yīng)用》可供微電子、機(jī)電一體化、精密儀器及儀表等專業(yè)研究與技術(shù)人員參考，也可作為相關(guān)專業(yè)高年級(jí)與研究生的教學(xué)參考書(shū)。

圖書(shū)封面

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