微波等離子體化學氣相沉積金剛石膜

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《微波等離子體化學氣相沉積金剛石膜》共分六章，介紹了金剛石的結構與主要性質(zhì)，分析了化學氣相沉積金剛石膜的機理和表征以及金剛石膜應用的關鍵問題。

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