微納米加工技術及其應用

內容概要

　　《微納米加工技術及其應用》集作者多年來的實踐經(jīng)驗與研究成果，系統(tǒng)地介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加技術、X射線曝光技術、各種刻蝕技術和微納米尺度的復制技術。對各種加工技術著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型工藝參數(shù)。充分分析了各種技術的優(yōu)缺點及在應用過程中的注意事項。全書強調實用，避免煩瑣的數(shù)學分析，既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的最新進展及在各高科技領域的應用，并列舉了相關參考文獻供理步深入研究，因此不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生和研究生，還是對已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價值。

書籍目錄

第1章 緒論1.1 微納米技術與微納米加工技術1.2 微納米加工技術的分類1.3 本書的內容與結構參考文獻第2章 光學曝光技術2.1 光學曝光方式與原理2.2 光學曝光的工藝過程2.3 光刻膠的特性2.4 光學掩模版的設計與制作2.5 突破光學曝光分辨率的新技術2.6 光學曝技術的極限2.7 厚膠曝光技術2.8 灰度曝光技術2.9 光學曝光的計算機模擬設計參考文獻第3章 電子束曝光技術3.1 電子光學原理3.2 電子束曝光系統(tǒng)3.3 電子束曝光圖形的設計與數(shù)據(jù)格式3.4 電子束抗蝕劑及其工藝3.5 電子束散射與鄰近效應3.6 電子束曝光鄰近效應的校正3.7 電子束曝光的計算機模擬3.8 電子束曝光的極限分辨率參考文獻第4章 聚焦離子束加工技術4.1 液態(tài)金屬離子源4.2 聚焦離子束系統(tǒng)4.3 離子在固體材料中的散射4.4 聚焦離子束加工原理4.5 聚焦離子束加工技術的應用4.6 聚焦離子束曝光技術4.7 聚焦離子束注入技術參考文獻第5章 X射線曝光技術第6章 刻蝕技術第7章 復制技術第8章 微納米加工技術的應用中英文名詞對照索引結束語

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