金剛石薄膜的制備與應(yīng)用

內(nèi)容概要

　　具有優(yōu)異特性的金剛石薄膜是材料界的研究熱點(diǎn)之一，在高新科技應(yīng)用領(lǐng)域具有重要作用?！督饎偸∧さ闹苽渑c應(yīng)用》較全面、系統(tǒng)地介紹了當(dāng)前國內(nèi)外有關(guān)金剛石薄膜的制備方法和其在高新技術(shù)方面的應(yīng)用。主要內(nèi)容包括：金剛石薄膜的微觀結(jié)構(gòu)；力學(xué)、熱學(xué)、光學(xué)、電學(xué)特性、傳感器、表面聲波濾波器、涂層刀具等方面的應(yīng)用?！督饎偸∧さ闹苽渑c應(yīng)用》的科學(xué)性、系統(tǒng)性強(qiáng)，概念清楚，敘述簡明扼要，內(nèi)容上反映了當(dāng)前學(xué)科最前沿水平。　　《金剛石薄膜的制備與應(yīng)用》可作為相關(guān)專業(yè)本科生及研究生的教學(xué)參考書，對于從事電子功能薄膜材料和新型刀具研制、生產(chǎn)和使用的專業(yè)人員具有一定的參考價值。

書籍目錄

第1章 金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)、特性及研究現(xiàn)狀1.1 金剛石薄膜的結(jié)構(gòu)1.2 金剛石薄膜的優(yōu)異特性1.3 金剛石薄膜的研究現(xiàn)狀1.4 金剛石薄膜發(fā)展前景第2章 金剛石薄膜的合成方法2.1 微波等離子體法2.2 等離子體噴射法2.3 熱絲法2.4 其他CVD方法第3章 異質(zhì)外延和高取向金剛石沉積3.1 在各種襯底上的異質(zhì)外延和高取向金剛石膜3.2 在SiC和Si上的成核和生長3.3 選擇生長和表面形貌3.4 異質(zhì)外延金剛石膜的電學(xué)性質(zhì)第4章 金剛石薄膜的熱學(xué)、光學(xué)和力學(xué)性質(zhì)及應(yīng)用4.1 金剛石膜的熱學(xué)性質(zhì)及應(yīng)用4.2 金剛石膜的光學(xué)性質(zhì)及應(yīng)用4.3 金剛石膜的力學(xué)性質(zhì)及涂層刀具第5章 CVD金剛石電子器件5.1 有源金剛石膜的生長5.2 金剛石薄膜的摻雜5.3 金剛石歐姆接觸5.4 金剛石p-n結(jié)二極管5.5 肖特基二極管5.6 晶體管5.7 金剛石薄膜紫外光探測器第6章 CVD金剛石膜冷陰極場電子發(fā)射6.1 電子親和勢和負(fù)電子親和勢6.2 場電子發(fā)射和冷陽極制備6.3 場發(fā)射機(jī)理第7章 金剛石薄膜X射線窗口和光刻掩模版7.1 用于X射線探測器的CVD金剛石窗口7.2 用于X射線管的CVD金剛石窗口7.3 用于X射線光刻掩模版的CVD金剛石7.4 總結(jié)與展望第8章 金剛石膜溫度和壓力傳感器8.1 金剛石傳感器工藝8.2 金剛石溫度傳感器8.3 壓阻式金剛石傳感器第9章 金剛石聲表面波（SAW）濾波器9.1 SAW9.2 金剛石膜和SAW濾波器制作技術(shù)9.3 不同SAW結(jié)構(gòu)的理論結(jié)果9.4 金剛石SAW特性及其應(yīng)用第10章 21世紀(jì)的CVD金剛石10.1 CVD金剛石工藝10.2 光學(xué)元件10.3 熱沉10.4 電子器件10.5 新型金剛石膜生長技術(shù)10.6 CVD金剛石刀具10.7 碳納米管參考文獻(xiàn)

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