微機(jī)械電子系統(tǒng)及其應(yīng)用

內(nèi)容概要

本書綜合當(dāng)前公開發(fā)表的大量有關(guān)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的科技文獻(xiàn)和我們近幾年研究工作的成果，主要介紹當(dāng)今微機(jī)電系統(tǒng)的內(nèi)容、應(yīng)用及其發(fā)展。內(nèi)容包括微機(jī)電系統(tǒng)的組成和應(yīng)用、微機(jī)電系統(tǒng)功能材料、微機(jī)械制造技術(shù)、微機(jī)械執(zhí)行器、微機(jī)械傳感器及微弱信號(hào)檢測(cè)與處理6部分。
全書內(nèi)容豐富、圖文恰當(dāng)、新穎實(shí)用。可作為高校有關(guān)專業(yè)研究生和高年級(jí)大學(xué)生的教材，也可供檢測(cè)與控制等微工程領(lǐng)域的工程技術(shù)人員參考。

書籍目錄

1，微機(jī)電系統(tǒng)的組成和應(yīng)用
2，微機(jī)電系統(tǒng)功能材料
3，微機(jī)械制造技術(shù)
4，微機(jī)械執(zhí)行器
5，微機(jī)械傳感器
6，微機(jī)械弱信號(hào)檢測(cè)與處理

圖書封面

評(píng)論、評(píng)分、閱讀與下載

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