微機械電子系統(tǒng)及其應用

內容概要

本書綜合當前公開發(fā)表的大量有關微機電系統(tǒng)（MEMS）的科技文獻和我們近幾年研究工作的成果，主要介紹當今微機電系統(tǒng)的內容、應用及其發(fā)展。內容包括微機電系統(tǒng)的組成和應用、微機電系統(tǒng)功能材料、微機械制造技術、微機械執(zhí)行器、微機械傳感器及微弱信號檢測與處理6部分。
全書內容豐富、圖文恰當、新穎實用?？勺鳛楦咝Ｓ嘘P專業(yè)研究生和高年級大學生的教材，也可供檢測與控制等微工程領域的工程技術人員參考。

書籍目錄

1，微機電系統(tǒng)的組成和應用
2，微機電系統(tǒng)功能材料
3，微機械制造技術
4，微機械執(zhí)行器
5，微機械傳感器
6，微機械弱信號檢測與處理

圖書封面

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