現(xiàn)代干涉測量技術(shù)

內(nèi)容概要

　　由于科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，干涉測量技術(shù)已經(jīng)得到相當(dāng)廣泛的應(yīng)用。一方面因?yàn)槲㈦娮?、微機(jī)械、微光學(xué)和現(xiàn)代工業(yè)提出了愈來愈高的精度和更大的量程，其它方法難以勝任；另一方面因?yàn)楫?dāng)代干涉測量技術(shù)本身具有靈敏度高、量程大、可以適應(yīng)惡劣環(huán)境、光波和米定義聯(lián)系而容易溯源等特點(diǎn)，因而在現(xiàn)代工業(yè)中應(yīng)用非常廣泛。　　目前已經(jīng)有幾個(gè)著名廠家的成熟的干涉儀產(chǎn)品，覆蓋了相當(dāng)大的應(yīng)用范圍。但是干涉儀畢竟不是一個(gè)簡單的工具，沒有一定的理論基礎(chǔ)難以正確使用，何況還有許多新的應(yīng)用領(lǐng)域有待研究，需要更加深入的理論知識(shí)?！　∪珖y(tǒng)編教材不可能有很大的篇幅介紹干涉測量技術(shù)。本書可作為光學(xué)儀器、計(jì)量測試、精密儀器等專業(yè)的高年級(jí)學(xué)生及研究生的教學(xué)參考書，同時(shí)也可供從事計(jì)量測試、儀器設(shè)計(jì)的工程技術(shù)人員參考?！　⒓颖緯髡戮帉懙膶＜液徒淌诙奸L期在該領(lǐng)域從事科研和教學(xué)工作，許多章節(jié)成稿后又請了有關(guān)專家審閱。本書是中國計(jì)量科學(xué)院前院長趙克功博士提出，并取得德國政府和中國國家教育委員會(huì)資助的三本教材之一。參編人員曾分兩批赴德參觀訪問和收集資料?！　”緯诙掠蓮?jiān)鲆苯淌诰帉懀谌掠芍烊艄雀苯淌诰帉?，第四章由方仲彥教授編寫，第五章一至四?jié)由郭彥珍教授編寫，第六章由陳耀煌研究員編寫，第七章由徐毓嫻副教授編寫，第九章由徐毅研究員編寫，第十章由王東生教授編寫，第十一章由德國聯(lián)邦物理研究院的P．Becker博士和J．Stuempel博士編寫、徐毓嫻副教授翻譯、郭彥珍教授校對，第十二章由郭繼華副教授編寫，第一章、第八章、第五章的五至六節(jié)、第九章的第二節(jié)由殷純永教授編寫，全書由殷純永教授統(tǒng)稿。最后裘惠孚教授審閱了全書并提出修改意見?！　∫?yàn)闀r(shí)間緊迫，本書采用的符號(hào)要求每位作者獨(dú)立決定，保證每章內(nèi)部的一致性。這樣，不影響讀者的理解。

書籍目錄

1.緒論  1.1  歷史的簡單回顧  1.2  現(xiàn)代干涉儀  1.3  未來干涉儀的發(fā)展2.經(jīng)典干涉理論  2.1  光的干涉  2.2  干涉儀中的瞳和窗3.相干性--現(xiàn)代相干理論  3.1  經(jīng)典相干性理論  3.2  量子相干性理論  3.3  影響相干性的因素  3.4  改善相干性措施  3.5  干涉測量中常用的激光器及其相干性4.光波長和頻論的測量與復(fù)現(xiàn)  4.1  長度計(jì)量基準(zhǔn)的發(fā)展  4.2  激光光譜的分析與測量  4.3  激光波長測量  4.4  絕對頻率測量5.測量長度和位移的干涉儀  5.1  激光偏振干涉儀  5.2  激光外差干涉儀  5.3  半導(dǎo)體激光干涉儀  5.4  激光光柵干涉儀  5.5  激光多波長無導(dǎo)軌測量  5.6  現(xiàn)代商品干涉儀6.波面和面形的測量  6.1  棱鏡透鏡干涉測量  6.2  λ/100平面標(biāo)準(zhǔn)  6.3  激光外差平面干涉儀  6.4  波前剪切干涉儀  6.5  平面波度測量  6.6  數(shù)字波前測量  6.7  錐度的干涉測量7.表面微觀形貌的干涉測量  7.1  干涉顯微鏡的偏振器件  7.2  相移和鎖相干涉儀  7.3  干涉顯微鏡  7.4  表面分析技術(shù)的新進(jìn)展8.干涉?zhèn)鞲衅?.干涉測量的相關(guān)技術(shù)10.干涉光譜儀11.X射線干涉儀12.干涉測量中的自適應(yīng)原則

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