圖解真空技術(shù)入門

內(nèi)容概要

　　《圖解真空技術(shù)入門》是因應(yīng)當(dāng)前大眾需要所特別撰寫，內(nèi)容盡量解說最基本的入門知識，因此，即使是非常重要的專業(yè)知識也大膽捨棄，相信《圖解真空技術(shù)入門》能補(bǔ)足真空技術(shù)入門書籍不足的缺慽。讀者可將此書當(dāng)作學(xué)習(xí)更專業(yè)知識前的跳板，掌握基本概要，將讓您更得心應(yīng)手。

作者簡介

　　小宮宗治（Soji Komiya），1948年東京工業(yè)大學(xué)附屬工業(yè)專門部金屬工業(yè)科畢業(yè)，1959年就職於日本真空技術(shù)株式會社，1977年獲得東京工業(yè)大學(xué)工學(xué)博士學(xué)位，1979年被任命為日本真空技術(shù)株式會社董事（director），1986年就職於株式會社Ulvac Cooperate Center常務(wù)董事（director），1990年就職於株式會社筑波研究聯(lián)合中心（consortium）董事（director），1995年就職於株式會社筑波研究聯(lián)合中心（consortium）專務(wù)理事，1998年由株式會社筑波研究聯(lián)合中心（consortium）專務(wù)理事退休?！　　　×_丞曜，日本東京大學(xué)畢業(yè)。電氣工學(xué)博士?，F(xiàn)任**清華大學(xué)奈米工程與微系統(tǒng)研究所助理教授。近期研究興趣為半導(dǎo)體材料、光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng)、印刷式生產(chǎn)技術(shù)及軟性電子元件。截至目前為止個人著有十八篇科技論文並擁有六件半導(dǎo)體元件製程國際專利。自2000年起持續(xù)從事英文及日文科技圖書及論文的翻譯、校稿及潤稿工作。目前譯有《圃解光與雷射應(yīng)用》（世茂出版）。

書籍目錄

1章 何謂真空？1-1 真空的作用1．真空到底是什麼？2．為什麼需要真空？1-2 真空技術(shù)的基礎(chǔ)（氣體分子的運(yùn)動）1．真空的定義與壓力的單位2．氣體分子的密度與壓力3．氣體分子的碰撞與平均自由徑4．真空容器的尺寸及平均自由徑5．碰撞真空容器內(nèi)壁的氣體分子數(shù)量及壓力1-3 氣體流通的難易程度：傳導(dǎo)性1．傳導(dǎo)性的定義2．長圓導(dǎo)管的傳導(dǎo)性3．開孔的傳導(dǎo)性（分子流）4．短圓導(dǎo)管的傳導(dǎo)性（分子流）5．彎曲導(dǎo)管的傳導(dǎo)性6．串聯(lián)及並聯(lián)的傳導(dǎo)性及蒙地卡羅計算參考文獻(xiàn)2章 真空中發(fā)生的物理現(xiàn)象2-1 真空中的蒸發(fā)、昇華1．水的蒸發(fā)，冰的昇華2．金屬的蒸發(fā)、真空蒸鍍3．高分子油的蒸發(fā)、真空蒸鍍2-2 真空與熱1．對流與分子熱傳導(dǎo)2．真空中的熱輻射3．真空及低溫2-3 吸附及脫離1．壁面上的凝縮及物理吸附2．滯留時間2-4 真空中的放電現(xiàn)象1．電子2．離子與高能粒子3．電漿與真空4．濺鍍參考文獻(xiàn)3章 真空的產(chǎn)生3-1 從大氣壓下開始排氣的粗抽幫浦1．油回轉(zhuǎn)幫浦2．粗抽幫浦的排氣時間……4章 真空的量測5章 真空系統(tǒng)的組成元件6章 測漏技術(shù)7章 超高真空與潔淨(jìng)的真空8章 真空工業(yè)的發(fā)展附錄Ⅰ 馬克士威分布法則附錄Ⅱ氣體分子的平均自由徑附錄Ⅲ 碰撞內(nèi)壁的氣體分子數(shù)

編輯推薦

　　真空技術(shù)早在20世紀(jì)初就出現(xiàn)，直到20世紀(jì)後半才迅速被廣泛應(yīng)用?！秷D解真空技術(shù)入門》從初階的何謂真空、真空中的物理現(xiàn)象、真空的產(chǎn)生一直到真空的量測、真空系統(tǒng)的組成元件、側(cè)漏技術(shù)、超高真空與潔淨(jìng)真空、真空工業(yè)的發(fā)展，每一個單元都詳盡說明。實(shí)屬史上第一本針對初次接觸真空技術(shù)的讀者做全面性解說的書籍。希望能成為您進(jìn)一步認(rèn)識真空技術(shù)的助力。

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