微傳感器設(shè)計、制造與應(yīng)用

內(nèi)容概要

　　《高等院校通用教材·微傳感器設(shè)計、制造與應(yīng)用》主要內(nèi)容是對基于壓阻效應(yīng)、電容效應(yīng)、機械諧振效應(yīng)、光電效應(yīng)、電子隧道效應(yīng)和原子力效應(yīng)的多種微傳感器和智能微傳感器的物理機理 、材料、設(shè)計、制造、應(yīng)用和發(fā)展進行了深入系統(tǒng)的討論，包括對壓力、加速度、角速度、納米尺度和圖像生成等的測量與性能分析。全書內(nèi)容豐富，重理論也重應(yīng)用，各章后配有思考題?！　　陡叩仍盒Ｍㄓ媒滩摹の鞲衅髟O(shè)計、制造與應(yīng)用》適合用作高等學校相關(guān)專業(yè)微機械傳感器課程的教材，也可供從事微機械傳感器研究的工程技術(shù)人員參考。

書籍目錄

第1章 微傳感器概論 1.1 微傳感器優(yōu)特點 1.1.1 微尺寸 1.1.2 微結(jié)構(gòu) 1.1.3 分布場測量 1.1.4 節(jié)省空間和能源 1.1.5 動態(tài)測量 1.1.6 集成化 1.1.7 陣列化 1.1.8 分布式單元和智能結(jié)構(gòu) 1.1.9 智能化 1.2 微傳感器弱信號檢測技術(shù) 1.3 微傳感器分類 1.4 現(xiàn)狀與未來 1.5 本書討論內(nèi)容 思考題 第2章 微傳感器與材料 第3章 微機械制造技術(shù)第4章 硅壓阻式微傳感器第5章硅電容式微傳感器第6章硅諧振式微傳感器……

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《高等院校通用教材·微傳感器設(shè)計、制造與應(yīng)用》由北京航空航天大學出版社出版。

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