精密和超精密加工在位檢測與誤差分離技術(shù)

內(nèi)容概要

《精密和超精密加工在位檢測與誤差分離技術(shù)》重點介紹精密和超精密機床在位檢測與誤差分離技術(shù)，全書分為六章。主要介紹了電容傳感器、電感傳感器、基于同心圓光柵莫爾條紋圖像處理的二自由度誤差測量系統(tǒng)和大量程納米級光柵位移測量系統(tǒng)等四種測量儀器基本原理和改進措施。介紹了超精密加工中無誤差重構(gòu)的直線度測量及運動誤差分離方法，圓度、圓柱度和平面度測量及運動誤差分離方法與實驗。最后還介紹了基于李群李代數(shù)的形位公差統(tǒng)一模型與評定方法。

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