精密和超精密加工在位檢測(cè)與誤差分離技術(shù)

內(nèi)容概要

《精密和超精密加工在位檢測(cè)與誤差分離技術(shù)》重點(diǎn)介紹精密和超精密機(jī)床在位檢測(cè)與誤差分離技術(shù)，全書(shū)分為六章。主要介紹了電容傳感器、電感傳感器、基于同心圓光柵莫爾條紋圖像處理的二自由度誤差測(cè)量系統(tǒng)和大量程納米級(jí)光柵位移測(cè)量系統(tǒng)等四種測(cè)量?jī)x器基本原理和改進(jìn)措施。介紹了超精密加工中無(wú)誤差重構(gòu)的直線(xiàn)度測(cè)量及運(yùn)動(dòng)誤差分離方法，圓度、圓柱度和平面度測(cè)量及運(yùn)動(dòng)誤差分離方法與實(shí)驗(yàn)。最后還介紹了基于李群李代數(shù)的形位公差統(tǒng)一模型與評(píng)定方法。

圖書(shū)封面

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