真空測量與控制

內(nèi)容概要

本書系統(tǒng)地介紹了真空測量、真空校準(zhǔn)、真空檢漏、真空控制的原理和方法，介紹的主要內(nèi)容有真空測量技術(shù)、液位式真空計、熱傳導(dǎo)真空計、熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計、分壓力測量和殘余氣體分析、真空計校準(zhǔn)、真空檢漏的基本原理、各種檢漏方法、氦質(zhì)譜檢漏儀及其他檢漏儀、標(biāo)準(zhǔn)漏孔、真空測量儀器電路、真空設(shè)備與系統(tǒng)的自動控制等。    本書可作為高等學(xué)校真空技術(shù)及設(shè)備、材料科學(xué)與工程、物理學(xué)等相關(guān)專業(yè)本科生和研究生的教材，還可供從事真空獲得、真空測量和真空應(yīng)用的工程技術(shù)人員參考。

書籍目錄

0 緒論　0.1 真空測量　0.2 真空計校準(zhǔn)　0.3 真空檢漏　0.4 真空測量儀器電路及其發(fā)展　0.5 真空設(shè)備控制技術(shù)1 真空測量概述　1.1 真空度的表征、單位和真空區(qū)域劃分　1.2 真空計分類　1.3 真空計測量范圍　1.4 真空測量的特點和真空計選擇原則2 液位式真空計　2.1 U型管真空計　2.2 壓縮式真空計3 彈性變形真空計和粘滯性真空計　3.1 彈性元件真空表　3.2 電容式薄膜真空計　3.3 振膜真空計　3.4 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計4 熱傳導(dǎo)真空計　4.1 熱傳導(dǎo)真空計的工作原理　4.2 熱傳導(dǎo)真空計的測量范圍　4.3 電阻真空計　4.4 熱偶真空計　4.5 已知混合氣體成分真空度的測量　4.6 熱傳導(dǎo)真空計的優(yōu)缺點5 電離真空計　5.1 熱陰極電離真空計的工作原理　5.2 普通型熱陰極電離真空計　5.3 熱陰極電離真空計的測量電路　5.4 高壓力熱陰極電離真空計　5.5 超高真空熱陰極電離真空計　5.6 冷陰極電離真空計　5.7 放射性電離真空計6 分壓力測量和殘余氣體分析　6.1 概述　6.2 四極質(zhì)譜計　6.3 其他質(zhì)譜計　6.4 識譜技術(shù)7 真空計校準(zhǔn)　7.1 概述　7.2 靜態(tài)膨脹法　7.3 動態(tài)流導(dǎo)法　7.4 標(biāo)準(zhǔn)壓縮式真空計　7.5 副標(biāo)準(zhǔn)真空計8 真空測量技術(shù)　8.1 氣體種類對真空測量的影響　8.2 測量系統(tǒng)對被測系統(tǒng)的影響　8.3 真空規(guī)管安裝對測量的影響　8.4 特殊條件下的真空測量9 真空檢漏概述　9.1 漏氣判斷和漏孔表示法　9.2 最大允許漏率的估算　9.3 檢漏方法分類　9.4 對檢漏方法的要求與選擇10 各種檢漏方法　10.1 靜態(tài)升壓法　10.2 氣泡檢漏法　10.3 氨氣檢漏法　10.4 真空計檢漏法　10.5 離子泵檢漏法　10.6 氫一鈀檢漏法　10.7 熒光檢漏法　10.8 放射性同位素檢漏法　10.9 慢性漏氣的加速檢測法11 真空檢漏儀器　11.1 高頻火花檢漏儀　11.2 鹵素檢漏儀　11.3 氣敏半導(dǎo)體檢漏儀　11.4 氦質(zhì)譜檢漏儀　11.5 漏率測量的誤差　11.6 真空檢漏工作的注意事項12 標(biāo)準(zhǔn)漏孔　12.1 標(biāo)準(zhǔn)漏孔及其常用的結(jié)構(gòu)形式　12.2 標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)　12.3 標(biāo)準(zhǔn)漏孔使用中應(yīng)注意的問題13 真空測量儀器電路　13.1 WZK—1A復(fù)合真空計　13.2 DC-3型超高真空計　13.3 ZDZ-2D數(shù)字電阻真空計　13.4 數(shù)字化熱偶真空計　13.5 ZDR-10型微機化電離真空計　13.6 DNB束功率測量系統(tǒng)設(shè)計14 真空設(shè)備與系統(tǒng)的自動控制　14.1 真空系統(tǒng)電氣控制概述　14.2 真空獲得設(shè)備控制電路　14.3 真空鍍膜機繼電器控制電路　14.4 真空熱處理爐真空測量與控制電路　14.5 真空冷凍干燥機電加熱系統(tǒng)控制　14.6 真空釬焊爐溫度測控電路　14.7 鍍膜生產(chǎn)線程序控制系統(tǒng)　14.8 真空壓力浸漆設(shè)備PLC控制系統(tǒng)　14.9 同步輻射光源真空控制系統(tǒng)　14.10 真空冶金設(shè)備抽氣裝置專家系統(tǒng)參考文獻

章節(jié)摘錄

　　0 緒論　　“真空”是指在指定空間內(nèi)低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)，也就是該空間內(nèi)氣體分子密度低于該地區(qū)大氣壓的氣體分子密度。不同的真空狀態(tài)，就意味著該空間具有不同的分子密度。在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（即0℃，101325Pa）下，氣體的分子密度為2.6870×10 25m-3，而在真空度為1×10-4Pa時，氣體的分子密度只有2.65×10 16m-3?！　⊥耆珱]有氣體的空間狀態(tài)稱為絕對真空，絕對真空實際上是不存在的?！　〗裉欤婵占夹g(shù)的發(fā)展已可獲得從大氣壓力直到10-14Pa、寬達20個數(shù)量級的壓力范圍。隨著真空獲得和真空測量技術(shù)的改進，這個范圍的下限正在不斷降低?！　≌婵辗譃槿斯ふ婵蘸妥匀徽婵铡Ｈ斯ふ婵帐窃诘厍蛏贤ㄟ^對一容器抽氣而獲得的；而地球上動物生命的某些功能中，天生就會使用“真空技術(shù)”，如人的呼吸可使胸腔呈真空狀態(tài)（9.7×10 4-4×10 4Pa），這就是自然真空。地表面的上方是空間真空，隨著距地面高度增加，壓力逐漸降低，90km的高空壓力約為10-1Pa，1000km高空的壓力約為10-8Pa，而在10 4km高空壓力可降至10-11Pa?！　〗鼛资陙?，真空技術(shù)由實驗室轉(zhuǎn)到工業(yè)生產(chǎn)中，隨著原子能、半導(dǎo)體、宇宙航行、電子計算機和可控?zé)岷朔磻?yīng)等技術(shù)的發(fā)展，真空技術(shù)得到了迅速的發(fā)展。真空技術(shù)是實現(xiàn)許多尖端技術(shù)的重要手段，在國民經(jīng)濟各行各業(yè)中有著廣泛應(yīng)用，現(xiàn)已發(fā)展成一門獨立的學(xué)科?！　”緯榻B真空測量與控制方面的一些知識，內(nèi)容涉及真空測量的基本原理、各種真空傳感器、儀器電路、真空校準(zhǔn)、真空檢漏和真空設(shè)備及系統(tǒng)的自動控制等，它們是真空科學(xué)與技術(shù)的重要組成部分。

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