真空技術

內容概要

　　本書包括真空技術的物理基礎及實際技術兩大部分。物理基礎部分由稀薄氣體理論及固體一氣體間的現象兩章組成；實際技術部分包括真空獲得、總壓強測量、分壓強測量、真空檢漏技術及真空系統等5章。本書注重理論聯系實際，科學系統性較完整，對問題的闡述力求做到理論嚴謹、概念準確。本書可作為電子物理與技術、半導體、微電子、冶金、真空設備和實驗物理等有關專業(yè)的研究生及本科生教材使用，也可供有關真空技術應用方面的科技人員參考。

書籍目錄

1　緒論1.1　真空技術與低溫技術的關系1.2　真空低溫技術概況1.3　真空低溫技術的應用1.3.1　冷凍真空干燥1.3.2　真空壓力浸漬1.3.3 真空保鮮1.3.4 空間真空低溫技術1.3.5　真空絕熱與低溫容器1.3.6　低溫真空泵1.3.7 真空低溫技術的其他應用1.4　真空低溫技術與設備研究的內容2　真空技術基礎2.1　蒸發(fā)與凝結2.2　氣體的熱傳導2.2.1 真空度較低（l《d）的情況2.2.2 真空度較高（l>d）的情況2.2.3 中真空（l≈d）的情況2.3　真空狀態(tài)下氣體的流動2.3.1 流動狀態(tài)及其判據2.3.2　流動過程的基本物理量及其相互關系2.3.3 管道的流導計算2.4　真空獲得設備2.4.1 真空泵的主要參數2.4.2 國產真空泵型號、規(guī)格、性能表示法2.4.3 水環(huán)泵2.4.4 旋片泵2.4.5 滑閥式真空泵2.4.6 羅茨真空泵2.4.7 油擴散泵2.5　真空測量2.5.1 彈性元件真空計2.5.2 電容式薄膜真空計2.5.3 電阻真空計2.5.4　高壓力熱陰極電離真空計2.5.5　真空測量技術2.6　真空閥門2.6.1 真空閥門的型號2.6.2　真空低溫技術與設備中常用的閥門2.6.3 閥門上的密封材料2.7　真空系統2.7.1　真空系統設計中的主要參數2.7.2　抽氣時間計算2.7.3　選泵與配泵2.7.4　真空低溫設備常用的抽氣機組2.8　檢漏方法2.8.1　最大允許漏率2.8.2　靜態(tài)升壓檢漏法2.8.3　氣泡檢漏法2.8.4　真空計檢漏法2.8.5 鹵素檢漏儀法2.8.6　氦質譜檢漏儀法3　低溫技術基礎3.1　低溫技術的熱力學基礎3.1.1 基本概念3.1.2　熱力學基本定律在制冷技術中的應用3.1.3 制冷系數與卡諾定理3.1.4 實際氣體的性質3.2　低溫的獲得3.2.1 相變制冷3.2.2 氣體絕熱膨脹制冷3.2.3　其他低溫獲得方法3.3　單級壓縮制冷系統3.3.1 單級壓縮制冷系統的工作原理3.3.2　單級壓縮制冷系統的組成3.3.3　制冷系統的熱力計算3.4　雙級壓縮制冷系統3.4.1　雙級壓縮氟制冷系統3.4.2　雙級壓縮氨制冷系統3.5　復疊式和吸收式制冷系統3.5.1 復疊式制冷系統……4　冷凍真空干燥技術與設備5　真空壓力浸漬技術與設備6　真空保鮮技術與設備7　空間真空低溫技術8　真空絕熱與低溫容器和真空玻璃9　低溫真空泵參考文獻

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