硅微型慣性器件理論及應(yīng)用

內(nèi)容概要

本書系統(tǒng)地介紹了硅微型慣性器件的理論及應(yīng)用問題。全書共7章，第1章介紹微型慣性器件的物理基礎(chǔ)；第2章至第4章為硅微型慣性器件的原理及誤差分析，第5章介紹硅微型慣性器件的制備工藝；第6章簡(jiǎn)介幾種微電容測(cè)量方法及硅微型慣性儀表的測(cè)控回路；第7章為硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用?！　”緯抵袊肮I(yè)總公司“九五”規(guī)劃教材，可作為高等學(xué)校測(cè)控技術(shù)與儀器及其相關(guān)專業(yè)的研究生，本科生的教學(xué)參考書，也可供從事傳感器、執(zhí)行器及慣性技術(shù)研究的工程技術(shù)人員閱讀。

書籍目錄

0　緒論　0.1　微機(jī)系統(tǒng)與微型制造技術(shù)　0.2　硅微型慣性器件及微慣性測(cè)量組合1　微型慣性器件的物理基礎(chǔ)　1.1　硅材料的物理性能　1.2　微型慣性器件的動(dòng)力學(xué)基礎(chǔ)　1.3　微機(jī)械元件的彈性理論基礎(chǔ)2　硅微型加速度計(jì)　2.1　概述　2.2　原理結(jié)構(gòu)　2.3　誤差分析及補(bǔ)償　2.4　硅微加速度計(jì)的測(cè)試與定標(biāo)3　硅微型框架驅(qū)動(dòng)或陀螺儀　3.1　結(jié)構(gòu)組成和作用原理　3.2　運(yùn)動(dòng)方程　3.3　誤差分析　3.4　結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)4　硅微型梳狀驅(qū)動(dòng)陀螺儀　4.1　音叉式振動(dòng)陀螺儀　4.2　靜電梳狀驅(qū)動(dòng)諧振器　4.3　硅微型梳狀線振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀　4.4　硅微型梳狀角振動(dòng)驅(qū)動(dòng)式陀螺儀　4.5　諧振頻率的調(diào)節(jié)　4.6　硅微型振動(dòng)陀螺儀的計(jì)算機(jī)輔助分析5　硅微型慣性器件的制備　5.1　硅微機(jī)械加工技術(shù)簡(jiǎn)介　5.2　硅微型慣性器件的制備6　硅微型慣性儀表的測(cè)控技術(shù)7　硅微型慣性器件的組合及應(yīng)用參考文獻(xiàn)

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