硅微型慣性器件理論及應用

內(nèi)容概要

本書系統(tǒng)地介紹了硅微型慣性器件的理論及應用問題。全書共7章，第1章介紹微型慣性器件的物理基礎(chǔ)；第2章至第4章為硅微型慣性器件的原理及誤差分析，第5章介紹硅微型慣性器件的制備工藝；第6章簡介幾種微電容測量方法及硅微型慣性儀表的測控回路；第7章為硅微型慣性器件的組合及應用?！　”緯抵袊肮I(yè)總公司“九五”規(guī)劃教材，可作為高等學校測控技術(shù)與儀器及其相關(guān)專業(yè)的研究生，本科生的教學參考書，也可供從事傳感器、執(zhí)行器及慣性技術(shù)研究的工程技術(shù)人員閱讀。

書籍目錄

0　緒論　0.1　微機系統(tǒng)與微型制造技術(shù)　0.2　硅微型慣性器件及微慣性測量組合1　微型慣性器件的物理基礎(chǔ)　1.1　硅材料的物理性能　1.2　微型慣性器件的動力學基礎(chǔ)　1.3　微機械元件的彈性理論基礎(chǔ)2　硅微型加速度計　2.1　概述　2.2　原理結(jié)構(gòu)　2.3　誤差分析及補償　2.4　硅微加速度計的測試與定標3　硅微型框架驅(qū)動或陀螺儀　3.1　結(jié)構(gòu)組成和作用原理　3.2　運動方程　3.3　誤差分析　3.4　結(jié)構(gòu)設(shè)計4　硅微型梳狀驅(qū)動陀螺儀　4.1　音叉式振動陀螺儀　4.2　靜電梳狀驅(qū)動諧振器　4.3　硅微型梳狀線振動驅(qū)動式陀螺儀　4.4　硅微型梳狀角振動驅(qū)動式陀螺儀　4.5　諧振頻率的調(diào)節(jié)　4.6　硅微型振動陀螺儀的計算機輔助分析5　硅微型慣性器件的制備　5.1　硅微機械加工技術(shù)簡介　5.2　硅微型慣性器件的制備6　硅微型慣性儀表的測控技術(shù)7　硅微型慣性器件的組合及應用參考文獻

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