新型傳感器技術(shù)及應(yīng)用

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內(nèi)容簡介
本書系綜合目前國內(nèi)外有關(guān)文獻(xiàn)及作者的研究成果編著而成。主要內(nèi)容有：傳感
器敏感材料；微機(jī)械加工技術(shù)；傳感器建模；硅電容式集成傳感器；諧振式傳感器；聲
表面波傳感器；薄膜傳感器；光纖傳感器；場效應(yīng)管型化學(xué)傳感器；固態(tài)成象傳感器；
Smart傳感器等十一章。從敏感材料、微機(jī)械加工技術(shù)到一些先進(jìn)傳感器的設(shè)計(jì)原
理、應(yīng)用和發(fā)展情況作了較全面、深入的討論。
本書內(nèi)容豐富、實(shí)用、新穎。既重視理論，又結(jié)合應(yīng)用?？晒┐髮Ｔ盒Ｓ嘘P(guān)專業(yè)的
研究生、高年級(jí)大學(xué)生和從事儀器儀表、測(cè)試技術(shù)、自動(dòng)化等方面的科技人員參考使
用。

書籍目錄

目錄
第一章 傳感器敏感材料
一、半導(dǎo)體硅材料
1.單晶硅
2.多晶硅
3.非晶體硅
4.硅藍(lán)寶石
二、化合物半導(dǎo)體材料
三、石英敏感材料
1.石英晶體
2.石英玻璃
四、精密陶瓷材料
五、ZnO薄膜
六、鐵電聚合物
七、非晶態(tài)磁性合金
八、形狀記憶合金
九、復(fù)合材料
思考題
參考文獻(xiàn)
第二章 微機(jī)械加工技術(shù)
一、概 述
二、硅微機(jī)械加工技術(shù)
1.刻蝕技術(shù)
2.薄膜技術(shù)
3.薄膜參數(shù)及其測(cè)量方法
4.固相鍵合工藝
三、X射線深層光刻電鑄成型技術(shù)
四、微型傳感器結(jié)構(gòu)
思考題
參考文獻(xiàn)
第三章 傳感器的建模
一、概 述
二、理論基礎(chǔ)
1.彈性體的力平衡方程
2.彈性體的幾何方程
3.彈性體的物理方程
4.彈性體的彈性勢(shì)能
5.彈性體外力的功
6.虛功原理
7.彈性體的動(dòng)能
8.彈性體的能量泛函原理
9.Hamilton原理
10.建模的一般方法
三、梁的建模
1.受軸向力兩端固支梁
2.改型懸臂梁
四、平膜片的建模
1.周邊固支的平膜片
2.近似解析解
3.算 例
4.結(jié) 論
五、波紋膜片的建模
1.受均布?jí)毫Φ牟y膜片
2.受集中力的波紋膜片
3.算 例
六、E型膜片的建模
1.基本方程
2.受集中力的E型膜片
3.受均布?jí)毫Φ腅型膜片
4.算 例
七、帶有頂蓋的圓柱殼的建模
1.基本方程
2.圓柱殼環(huán)單元的有限元列式
3.算 例
八、頂端開口圓柱殼的建模
1.基本方程
2.底端約束的特征
3.約束因子
九、半球殼的建模
1.簡 述
2.半球殼的振動(dòng)方程
3.半球殼的振型進(jìn)動(dòng)特性
4.半球殼的耦合振動(dòng)
思考題
參考文獻(xiàn)
第四章 硅電容式集成傳感器
一、概 述
二、硅電容式集成壓力傳感器
三、硅電容式集成壓力傳感器的接口電路
1.開關(guān)－電容接口電路
2.電容頻率變換電路
四、硅電容式加速度傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第五章 諧振式傳感器
一、概 述
二、諧振式傳感器的基礎(chǔ)理論
1.基本結(jié)構(gòu)
2.閉環(huán)自激
3.敏感機(jī)理
4.諧振子的Q值
5.設(shè)計(jì)要點(diǎn)
6.特征與優(yōu)勢(shì)
三、振動(dòng)筒壓力傳感器
1.簡 述
2.壓電激勵(lì)特性
3.拾振信號(hào)的轉(zhuǎn)換
4.穩(wěn)定的單模態(tài)自激系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)
5.雙重模態(tài)的有關(guān)問題
四、諧振式角速率傳感器
1.簡 述
2.壓電激勵(lì)諧振式圓柱殼角速率傳感器
3.靜電激勵(lì)半球諧振式角速率傳感器
五、諧振式直接質(zhì)量流量傳感器
1.簡 述
2.測(cè)量理論
六、硅微結(jié)構(gòu)諧振式傳感器
1.簡 述
2.熱激勵(lì)方式
3.差動(dòng)式硅諧振微傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第六章 聲表面波傳感器
一、概 述
二、聲表面波技術(shù)基礎(chǔ)知識(shí)
1.聲表面波的類型
2.聲表面波的主要性質(zhì)
3.聲表面波叉指換能器
三、聲表面波傳感器理論基礎(chǔ)
1.聲表面波振蕩器的結(jié)構(gòu)組成及其工作原理
2.測(cè)量各種物理量的理論分析
四、各種聲表面波傳感器
1.SAW壓力傳感器
2.SAW加速度傳感器
3.SAW氣體傳感器
4.SAW角速度傳感器
5.SAW流量傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第七章 薄膜傳感器
一、概 述
二、幾種薄膜傳感器
1.薄膜應(yīng)變電阻及傳感器
2.薄膜熱敏元件及傳感器
3.薄膜氣敏元件及傳感器
4.薄膜磁敏元件及傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第八章 光纖傳感器
一、概 述
二、光纖的導(dǎo)波原理
三、光纖的傳輸損耗
1.吸收損耗
2.散射損耗
3.輻射損耗
四、強(qiáng)度調(diào)制光纖傳感器
1.光纖微彎傳感器
2.反射式光纖位移傳感器
3.反射式光纖壓力傳感器
4.半導(dǎo)體吸收式光纖溫度傳感器
5.折射率調(diào)制光纖傳感器
五、相位調(diào)制光纖傳感器
1.馬赫－澤德爾干涉儀
2.薩格納克干涉儀
3.法布里－泊羅干涉儀
4.邁克爾遜干涉儀
六、偏振態(tài)調(diào)制光纖傳感器
1.光纖電流傳感器
2.光纖電壓傳感器
3.偏振態(tài)調(diào)制型光纖加速度傳感器
七、頻率調(diào)制光纖傳感器
八、分布式光纖傳感器
1.概 述
2.損傷評(píng)估
3.應(yīng)變測(cè)量
4.OTDR測(cè)量原理
思考題
參考文獻(xiàn)
第九章 場效應(yīng)管型化學(xué)傳感器
一、離子敏傳感器
1.MOSFET的基本原理
2.ISFET的工作原理
3.ISFET敏感膜的種類
4.ISFET的結(jié)構(gòu)
5.多功能ISFET
6.ISFET的特點(diǎn)
7.ISFET的應(yīng)用
二、氣敏傳感器
1.氫氣敏MOSFET
2.一氧化碳?xì)饷鬚dMOSFET
3.氧化敏MOSFET
4.氨氣敏MOSFET
三、濕敏傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第十章 固態(tài)成象傳感器
一、概 述
二、CCD的基本結(jié)構(gòu)與MOS 電容器
1.結(jié)構(gòu)
2.MOS電容器與CCD
3.CCD的基本工作原理
三、CCD成象傳感器
1.線列CCD成象傳感器
2.面陣CCD成象傳感器
四、CCD成象傳感器的主要特性
1.調(diào)制傳遞函數(shù)（MTF）
2.輸出飽和特性
3.暗電流
4.靈敏度
5.光譜響應(yīng)及背面照光
6.信噪比與動(dòng)態(tài)范圍
五、紅外固態(tài)成象傳感器
1.引 言
2.混合式IRCCD傳感器
3.單片集成式IR－CCD傳感器
六、微光CCD象傳感器
思考題
參考文獻(xiàn)
第十一章Smart傳感器
一、Smart傳感器的含義
二、基本傳感器
三、Smart傳感器中的軟件
1.標(biāo)度變換技術(shù)
2.數(shù)字調(diào)零技術(shù)
3.非線性補(bǔ)償
4.溫度補(bǔ)償
5.數(shù)字濾波技術(shù)
四、應(yīng) 用
五、發(fā)展前景
思考題
參題文獻(xiàn)

圖書封面

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