硅微機械傳感器

內(nèi)容概要

本書詳細描述了多種硅微機械傳感器的工作原理。因為設計和制造傳感器需要多學科的知識，只有經(jīng)過電學、機械工程、物理和化學培訓的工程師才能夠進入這個領(lǐng)域并勝任此項工作。為了滿足這個需求，本書從有關(guān)硅微機械傳感器設計所需的基本科學知識開始，論述了包括物理定律的按比例縮小、梁和膜變形的力學、傳感原理、流體流動和熱傳遞的基本規(guī)律以及相關(guān)的電子電路等眾多技術(shù)環(huán)節(jié)。此外還向讀者介紹了硅微機械加工工藝和傳感器封裝的基本知識，并用壓力傳感器、力學傳感器、加速度計、陀螺和流體傳感器的眾多例子說明了設計、制造和性能方面的有關(guān)問題。

書籍目錄

第1章 引言第2章 MEMS 2.1 微型化和系統(tǒng) 2.2 MEMS的例子 2.3 大和?。喊幢壤s小 2.4 已有的制造技術(shù)第3章 硅微機械加工工藝 3.1 光刻 3.2 薄膜淀積和摻雜 3.3 濕法化學腐 3.4 圓片鍵合 3.5 等離子體刻蝕 3.6 面微機械加工工藝第4章 梁和膜的力學 4.1 質(zhì)量塊-彈簧系統(tǒng)的動力學 4.2 弦 4.3 梁 4.4 膜片和薄膜第5章 機械量的測量原理：形變的轉(zhuǎn)換 5.1 金屬應變片 5.2 半導體應變片 5.3 電容式傳感器第6章 力和壓力傳感器 6.1 力傳感器 6.2 壓力傳感器第7章 加速度和角速度傳感器 7.1 加速度傳感器 7.2 角速度傳感器第8章 流體傳感器 8.1 層狀流邊界層 8.2 限于很小雷諾數(shù)情況下的熱傳輸 8.3 熱流體傳感器 8.4 表層摩擦力傳感器 8.5 “干流體”傳感器 8.6 “濕流體”傳感器第9章 諧振傳感器……第10章 電子電路 接口第11章 封裝附錄 英漢名詞對照參考文獻

圖書封面

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