聚焦離子束微納加工技術(shù)

內(nèi)容概要

本書重點(diǎn)講述聚焦離子束技術(shù)的原理；聚焦離子束系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，包括離子源、離子光學(xué)柱體、圖形發(fā)生器和精密工件臺(tái)等；還探討了聚焦離子束的有關(guān)關(guān)鍵技術(shù)。

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