聚焦離子束微納加工技術

內(nèi)容概要

本書重點講述聚焦離子束技術的原理；聚焦離子束系統(tǒng)的結構，包括離子源、離子光學柱體、圖形發(fā)生器和精密工件臺等；還探討了聚焦離子束的有關關鍵技術。

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