實用真空技術(shù)

內(nèi)容概要

　　《實用真空技術(shù)》主要內(nèi)容包括：真空知識概論、真空密封、影響真空度的要素、真空系統(tǒng)、典型的薄膜生長方式。

作者簡介

　　郭方準，1970年生，理學(xué)博士（日本大阪市立大學(xué)）.回國前任日本同步輻射光科學(xué)中心（SPring-8）研究員，現(xiàn)任大連交通大學(xué)教授、中國科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所研究員。
　　主要榮譽：中國科學(xué)院百人計劃（2009）國家千人計劃（2010）中國僑聯(lián)特聘專家（2011）遼寧省攀登學(xué)者（2012）
　　主要獲獎：第七屆表面界面和納米技術(shù)國際會議青年科學(xué)家獎（2003）日本文部科學(xué)大臣獎（2008）
　　主要著作：《Frontal Semiconductor Research》Nova Science Publishers，
Inc.ISBN：1-60021-210-7.（USA 2006）.

書籍目錄

第1章 真空知識概論
1.1 什么是真空
1.2 真空的發(fā)現(xiàn)和理論基礎(chǔ)
1.3 幾個重要的概念
1.4 真空技術(shù)的應(yīng)用
第2章 真空密封
2.1 永久密封
2.2 非永久密封
2.3 真空法蘭
2.4 真空導(dǎo)入要素
2.5 波紋管
第3章 影響真空度的要素
3.1 真空檢漏
3.2 真空中的材料氣體放出
3.3 真空材料的表面凈化和拋光
3.4 真空系統(tǒng)的排氣計算
第4章 真空系統(tǒng)
4.1 真空系統(tǒng)的構(gòu)成
4.2 真空腔體
4.3 真空泵
4.4 真空計
4.5 真空閥門
4.6 各種運動導(dǎo)入器
4.7 配管連接元件
第5章 典型的薄膜生長方式
5.1 物理方式成膜（Physical Vapor Deposition:PVD）
5.2 化學(xué)方式成膜（Chemical Vapor Deposition:CVD）
附錄
參考文獻

章節(jié)摘錄

版權(quán)頁：   插圖：   真空本身沒有意義，在真空環(huán)境中完成工作才賦予其真正的價值。各種真空運動導(dǎo)入器的使用，實現(xiàn)了對真空環(huán)境中的樣品傳遞、操縱以及溫控等。真空運動導(dǎo)入器要求真空密封性高、驅(qū)動順暢、驅(qū)動重復(fù)性高以及使用壽命長。 本節(jié)介紹幾種代表性的真空運動導(dǎo)入器。 1.互線推動驅(qū)動器 直線推動驅(qū)動器主要由外筒、真空法蘭、移動法蘭、波紋管、推動桿、驅(qū)動軸等組成。外筒內(nèi)部的波紋管分別和真空法蘭以及移動法蘭焊接，實現(xiàn)伸縮和真空密封。移動法蘭的兩端分別與驅(qū)動軸和推動桿連接。操縱推動桿，則驅(qū)動軸可在真空中直線移動。真空法蘭內(nèi)側(cè)設(shè)置準直部件，確保驅(qū)動軸不會擺動。外筒開有長條孔，固定在移動法蘭外壁上的指針沿著長條孔移動，達到指示驅(qū)動軸移動位置的目的。外筒側(cè)壁設(shè)置固定螺絲，可將推動桿固定在任意位置。直線推動驅(qū)動器中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧銅材料，可耐高溫烘烤，適合在超高真空系統(tǒng)中的使用。直線推動驅(qū)動器的示意圖參照圖4.25。 2.直線驅(qū)動器 超高真空直線驅(qū)動器的直線驅(qū)動和真空密封同樣靠波紋管來實現(xiàn)（圖4.26）。波紋管的兩端分別和移動法蘭與真空法蘭焊接。移動法蘭在真空一側(cè)和驅(qū)動軸連接，另一側(cè)設(shè)計成螺紋構(gòu)造。移動法蘭和把手之間的螺紋構(gòu)造相匹配，旋轉(zhuǎn)把手，則波紋管作直線運動，從而帶動驅(qū)動軸的直線運動。真空法蘭內(nèi)部安裝直線軸承，可實現(xiàn)驅(qū)動軸的運動準直性。外筒上帶有刻度，通過把手的位置可知驅(qū)動軸的行程。 直線驅(qū)動器精度高，重復(fù)性強，可和直流或步進電機組合，實現(xiàn)電控操作。

編輯推薦

《實用真空技術(shù)》介紹了真空技術(shù)和物理學(xué)的進步緊密相關(guān)，目前已經(jīng)是表面科學(xué)、半導(dǎo)體應(yīng)用、高能粒子加速器、核聚變研究裝置和宇宙開發(fā)領(lǐng)域不可缺少的技術(shù)。

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