激光先進制造技術(shù)

內(nèi)容概要

本書主要講述激光先進制造技術(shù)中的激光與材料相互作用的基礎(chǔ)知識和激光熱加工工藝，并具體講述了激光加工技術(shù)(包括激光打孔、標刻、焊接和激光表面改性)、激光快速成型技術(shù)和激光制備薄膜技術(shù)。為強調(diào)起見，專門用一章敘述了激光在微電子工業(yè)中的應(yīng)用。全書共分八章，第七章介紹了激光加工成套設(shè)備系統(tǒng)。    本書在綜合國內(nèi)外激光加工和激光先進制造技術(shù)的應(yīng)用成果的基礎(chǔ)上，注意理論基礎(chǔ)與工藝的結(jié)合，對各種激光加工的簡單機制、工藝特點與參數(shù)及應(yīng)用領(lǐng)域作了較詳細的分析。    本書可供激光、機械和材料等專業(yè)相關(guān)方向的碩士研究生和高年級本科生作為教材使用，也可供從事激光加工的工程技術(shù)人員參考。

作者簡介

鄭啟光男，湖南衡陽人。1969年畢業(yè)于華中工學(xué)院，現(xiàn)任華中科技大學(xué)激光技術(shù)國家重點實驗室教授、博士生導(dǎo)師。1971年至今主要從事激光加工不口激光與物質(zhì)相互作用的研究。共承擔科研項目（包括國家攻關(guān)和國家自然科學(xué)基金項目等）20余項。獲省部級獎7項（包括省部級一等獎

書籍目錄

第一章 激光先進制造技術(shù)基礎(chǔ)   1.1 激光束特性   1.2 激光與固體材料的相互作用   1.3 材料的吸收和反射特性   1.4 激光加工的熱源模型[9][10][11]   參考文獻第二章 激光器系統(tǒng)  2.1 固體激光加工系統(tǒng)  2.2 氣體激光器  2.3 準分子激光器  2.4 其它用于激光加工的激光器  參考文獻第三章 激光加工技術(shù)  3.1 激光打孔與切割  3.2 激光焊接  3.3 激光表面改性技術(shù)  3.4 激光清洗技術(shù)  參考文獻第四章 激光快速成型技術(shù)  4.1 激光快速成型工藝  4.2 激光快速成型系統(tǒng)軟件與設(shè)備  4.3 激光快速成型制作零件(或模具)的典型實例  參考文獻第五章 激光制備薄膜技術(shù)  5.1 激光制膜原理與過程  5.2 影響激光制膜的幾種因素  5.3 激光制膜工藝方法與典型實例  5.4 激光選區(qū)定域制膜  參考文獻第六章 激光在微電子技術(shù)中的應(yīng)用  6.1 脈沖激光加工在微電子技術(shù)中的應(yīng)用  6.2 半導(dǎo)體的激光退火  6.3 激光微調(diào)  6.4 激光修補(修復(fù))集成電路  6.5 激光光刻  參考文獻第七章 激光加工成套設(shè)備系統(tǒng)  7.1 激光加工機  7.2 激光加工成套設(shè)備  7.3 激光加工生產(chǎn)線中的檢測與監(jiān)控技術(shù)  參考文獻第八章 納米技術(shù)  8.1 納米技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用  8.2 激光制備納米材料與納米器件  參考文獻

圖書封面

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