出版時間:2003-6 作者:潘應君
內容概要
本書重點對等離子體的滲氮、沉積技術、制作納米材料作了較詳細的論述,從原理、設備、材料、操作、質量檢測以及實際應用中出現(xiàn)的問題用其解決辦法,作了簡明扼要而又通俗的描寫。
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