微機電系統(tǒng)技術基礎

內(nèi)容概要

本書系統(tǒng)地介紹了有關微機電系統(tǒng)的知識，主要內(nèi)容包括微機電系統(tǒng)的基本概念、微機電系統(tǒng)所用材料、微機電系統(tǒng)的加工技術、微機電系統(tǒng)的設計技術，微機電系統(tǒng)的組成、檢測及應用技術。內(nèi)容詳實、圖文并茂。     本書可供機械電子工程等有關專業(yè)的本科生和研究生作為教材使用，也可供相關領域的工程技術人員以及有關科技管理部門的人員參考使用。

書籍目錄

前言1 微機電系統(tǒng)概述  1.1 微機電系統(tǒng)技術的基本概念及特點  1.2 微機電系統(tǒng)的研究領域  1.3 微機電系統(tǒng)采用的材料  1.4 主要工藝技術  1.5 微機電系統(tǒng)技術的發(fā)展  1.6 微機電系統(tǒng)的應用前景  參考文獻2 微機電系統(tǒng)的材料  2.1 概述  2.2 硅  2.3 陶瓷  2.4 金屬  2.5 凝膠  2.6 電流變體(Electro－rheological fluids，ERF)  2.7 磁流變體(Magneto－rheological fluids，MRF)   參考文獻3 硅集成電路工藝基礎  3.1 薄膜生長  3.2 光刻  3.3 薄膜刻蝕  參考文獻4 MEMS加工技術  4.1 硅的濕法腐蝕  4.2 硅的深刻蝕技術  4.3 鍵合與雙面光刻技術  4.4 集成工藝  4.5 其他工藝技術  參考文獻5 微機電系統(tǒng)的設計方法學  5.1 MEMS設計概述  5.2 MEMS系統(tǒng)級設計  5.3 MEMS器件級設計  5.4 MEMS工藝設計  5.5 版圖設計  5.6 IMEE系統(tǒng)及其設計實例  參考文獻6 微機電系統(tǒng)的組成  6.1 微機械傳感器  6.2 微驅(qū)動器  6.3 微能源  參考文獻7 微機電系統(tǒng)檢測技術  7.1 概述  7.2 微幾何量測量  7.3 微機械材料特性檢測  參考文獻8 微機電系統(tǒng)的應用  8.1 微機電系統(tǒng)在醫(yī)學中的應用  8.2 微機電系統(tǒng)在汽車中的應用  8.3 微機電系統(tǒng)在信息技術中的應用  8.4 微機電系統(tǒng)在軍事領域中的應用  參考文獻

圖書封面

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