超精密加工技術(shù)與設(shè)備

內(nèi)容概要

本書分10章，第1章對超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用發(fā)展等進行了較為全面的闡述；第2章～第4章介紹超精密加工方法與設(shè)備，包括超精密切削、超精密磨削、超精密研磨與拋光、超精密特種加工技術(shù)；第5、6、7章論述超精密加工的檢測、誤差補償技術(shù)，超精密加工材料和環(huán)境控制技術(shù)；第8、9章介紹超精密加工應(yīng)用實例；第10章介紹納米加工技術(shù)。本書收集了國內(nèi)、外超精密加工的大量文獻資料和最新研究成果，內(nèi)容豐富新穎，實例材料翔實。全書配有大量圖例，盡量避免出現(xiàn)繁復(fù)冗長的公式推導(dǎo)，偏重普及性、實用性和新穎性，在內(nèi)容深度和語言敘述方面力求面向不同層次的讀者。     本書可選作機械工程類研究生和本科生的選修教材和輔助教材，也可供從事機械制造精密超精密加工的科技人員作為參考書使用。

書籍目錄

第1章 超精密加工技術(shù)概論   1.1 超精密加工技術(shù)的內(nèi)容   1.2 超精密加工技術(shù)的作用   1.3 超精密加工的關(guān)鍵技術(shù)   1.4 超精密加工技術(shù)的發(fā)展狀況與趨勢 第2章 超精密機械加工方法   2.1 超精密切削加工   2.2 超精密磨削加工    2.3 超精密研磨與拋光 第3章 超精密加工機床與設(shè)備   3.1 超精密加工機床   3.2 超精密加工刀具與刃磨技術(shù)   3.3 超精密夾具設(shè)計 第4章 超精密特種加工技術(shù)   4.1 概述   4.2 激光加工   4.3 電子束微細加工   4.4 離子束微細加工   4.5 微細電火花加工   4.6 超聲波微細加工   4.7 電化學(xué)加工   4.8 ELID鏡面磨削技術(shù)   4.9 微細磨料流動加工   4.10 磁力研磨加工和磁力電解研磨加工   4.11 磁流變拋光技術(shù)   4.12 等離子體加工   4.13 基于微機器人的超精密加工技術(shù) 第5章 超精密加工的檢測、誤差補償技術(shù)   5.1 超精密加工精度檢測   5.2 在線檢測   5.3 誤差補償   5.4 檢測設(shè)備與儀器 第6章 超精密加工材料   6.1 概述   6.2 工件材料方面諸因素對切削加工性的影響    6.3 超精密加工常用金屬材料   6.4 常用非金屬材料 第7章 超精密加工的環(huán)境控制   7.1 空氣環(huán)境   7.2 溫度環(huán)境   7.3 濕度環(huán)境   7.4 振動環(huán)境   7.5 噪聲環(huán)境   7.6 其他環(huán)境   7.7 超精密加工環(huán)境設(shè)施 第8章 光學(xué)非球面零件的超精密加工技術(shù)與設(shè)備   8.1 概述   8.2 非球面零件超精密加工技術(shù)   8.3 光學(xué)非球面零件的檢測技術(shù)   8.4 大型非球面鏡的研拋加工   8.5 超精密非球曲面加工機床實例   8.6 超精密非球面加工技術(shù)的發(fā)展趨勢 第9章 大直徑硅片的超精密加工   9.1 概述   9.2 硅片的加工工藝   9.3 大直徑硅片的高效超精密磨削加工技術(shù)   9.4 硅片背面減薄加工技術(shù)   9.5 大尺寸硅片的超精密平坦化技術(shù) 第10章 納米加工技術(shù)   10.1 納米加工技術(shù)概述   10.2 掃描隧道顯微加工技術(shù)   10.3 LIGA技術(shù)   10.4 納米材料制造技術(shù)   10.5 納米加工檢測技術(shù) 參考文獻

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