微機電系統(tǒng)設(shè)計與制造

內(nèi)容概要

微機電系統(tǒng)（MEMS,即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術(shù)等密切相關(guān)，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩(wěn)定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和適于大批量生產(chǎn)，成本低廉等一系列優(yōu)點，有巨大的應(yīng)用前景和經(jīng)濟效益，被公認為21世紀的重點發(fā)展高科技前沿學科。
　　本書主要從普及的角度介紹微機電系統(tǒng)及其相關(guān)技術(shù)，全書共分為12章，分別對微機電系統(tǒng)的定義、起源及研究現(xiàn)狀、制造技術(shù)、系統(tǒng)構(gòu)成、設(shè)計技術(shù)進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統(tǒng)全面，包含了微機電系統(tǒng)制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環(huán)節(jié)；微機電系統(tǒng)構(gòu)成中的各種微傳感器、微執(zhí)行器、微構(gòu)件、微系統(tǒng)的工作機理；先進的微機電系統(tǒng)設(shè)計技術(shù)以及計算機輔助技術(shù)；多種設(shè)計手段和實用軟件。
　　本書可供希望了解或采用微機電系統(tǒng)的工程技術(shù)人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業(yè)等選修課時的教學參考書。

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