多晶硅和石英玻璃的聯(lián)合制備法

出版時間：2008-1 出版社：冶金工業(yè) 作者：劉寄生

內(nèi)容概要

《多晶硅和石英玻璃的聯(lián)合制備法》以傳統(tǒng)的多晶硅和石英玻璃的生產(chǎn)方法為基礎(chǔ)，介紹了多晶硅和石英玻璃聯(lián)合制備法的工藝過程、主要設(shè)備、操作要點(diǎn)及影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素，提出了降低多晶硅生產(chǎn)成本的幾個途徑，并總結(jié)了相關(guān)安全生產(chǎn)的知識。內(nèi)容緊密結(jié)合生產(chǎn)操作實際，闡述由淺入深，通俗易懂，知識豐富，實用性強(qiáng)。

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