多晶硅和石英玻璃的聯(lián)合制備法

內容概要

《多晶硅和石英玻璃的聯(lián)合制備法》以傳統(tǒng)的多晶硅和石英玻璃的生產(chǎn)方法為基礎，介紹了多晶硅和石英玻璃聯(lián)合制備法的工藝過程、主要設備、操作要點及影響產(chǎn)品質量的因素，提出了降低多晶硅生產(chǎn)成本的幾個途徑，并總結了相關安全生產(chǎn)的知識。內容緊密結合生產(chǎn)操作實際，闡述由淺入深，通俗易懂，知識豐富，實用性強。

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