超大規(guī)模集成電路襯底材料性能及加工測(cè)試技術(shù)工程
出版時(shí)間：2002-1 出版社：冶金工業(yè)出版社 作者：劉玉嶺等編著
內(nèi)容概要
《超大規(guī)模集成電路襯底材料性能及加工測(cè)試技術(shù)工程》介紹了作為超大規(guī)模集成電路襯底材料硅的性能、硅單晶襯底的加工工藝以及相關(guān)的測(cè)試技術(shù)。
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