微型機(jī)械導(dǎo)論

內(nèi)容概要

微型機(jī)械，即微機(jī)電系統(tǒng)(micro electronmechanical system)，是20世紀(jì)末興起的、21世紀(jì)初快速發(fā)展的高科技前沿領(lǐng)域。    本書共11章，較全面、系統(tǒng)地介紹了微型機(jī)械及其發(fā)展歷史，怎樣制作微型機(jī)械。用通俗易懂的語言，分別介紹了用傳統(tǒng)的超精密加工方法、半導(dǎo)體工藝加工方法和一些有發(fā)展前景的加工方法，特別對最常用的硅的體微型機(jī)械加工和表面微型機(jī)械加工做了較詳細(xì)的介紹：介紹了微型傳感器、微型執(zhí)行器和微系統(tǒng)以及典型的實例；重點介紹了微型機(jī)械的設(shè)計、建模和檢測技術(shù)：展望了微型機(jī)械的未來，對基礎(chǔ)研究、制作工藝等各方面的發(fā)展做了闡述；此外，還介紹了國外對微型機(jī)械人才的培養(yǎng)情況。     作為填補國內(nèi)空缺的入門教材，本書的特點是：立足學(xué)科發(fā)展前沿，內(nèi)容豐富多彩，深入淺出，通俗易懂，圖文并茂；信息量大，覆蓋面廣。     本書可作本學(xué)科本科教育教材和研究生的參考書，也可作為相關(guān)科技工作者、管理人員和其他感興趣讀者的參考資料。

書籍目錄

第1章  初識微型機(jī)械  1.1  一個引人入勝的話題    1.1.1  從童話中的小人國談起    1.1.2  科幻小說中的微型機(jī)械    1.1.3  微型科技的曙光  1.2  小機(jī)械，大機(jī)會    1.2.1  歷史的回顧    1.2.2  關(guān)于微型機(jī)械的起源    1.2.3  微型科技為什么如此受歡迎    1.2.4  小機(jī)械包含著大課題  1.3  什么是微機(jī)電系統(tǒng)  1.4  有關(guān)的國際刊物、會議和網(wǎng)站  參考文獻(xiàn)第2章  怎樣制作微型機(jī)械（一）——傳統(tǒng)的超精密加工方法  2.1  概述    2.1.1  微型機(jī)械加工的特點    2.1.2  常用的微型機(jī)械加工方法的分類  2.2  利用超精密加工工具加工微型器材    2.2.1  微細(xì)磨削加工    2.2.2  微細(xì)磨料加工    2.2.3  微細(xì)放電加工（MEDM）    2.2.4  金屬絲放電磨削加工（QEDG）  2.3  特種加工工藝    2.3.1  激光束微細(xì)加工技術(shù)    2.3.2  電子束微細(xì)加工技術(shù)    2.3.3  聚焦離子束（FIB）微細(xì)加工技術(shù)  參考文獻(xiàn)第3章  怎樣制作微型機(jī)械（二）——微型機(jī)械中常用的IC工藝  3.1  概述  3.2  IC工藝的主要步驟    3.2.1  晶體生長和晶片制備（Crystal Growth and Wafering）    …………第4章  怎樣制作微型機(jī)械（三）——硅微結(jié)構(gòu)制作工藝第5章  怎樣制作微型機(jī)械（四）——一些有發(fā)展前景的工藝第6章  微型傳感器第7章  微型執(zhí)行器第8章  微結(jié)構(gòu)與微系統(tǒng)第9章  微型機(jī)械的設(shè)計和建模第10章  微型機(jī)械的檢測技術(shù)第11章  展望微型機(jī)械的未來附錄  微型機(jī)械常用詞匯（英漢對照）

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