集成電路設(shè)計(jì)制造中EDA工具實(shí)用教程

內(nèi)容概要

　　本教程共17章，分為三個(gè)部分。第一部分介紹半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體器件仿真工具；第二部分介紹了模擬集成電路設(shè)計(jì)工具的應(yīng)用；第三部分為數(shù)字集成電路的設(shè)計(jì)，最后介紹了可測性設(shè)計(jì)的基本概念和流程。     本書在寫作方式上，盡量從應(yīng)用的角度引導(dǎo)讀者學(xué)習(xí)掌握軟件的使用，選取了典型的工具，每部分的主體設(shè)計(jì)流程均經(jīng)過了IC設(shè)計(jì)、流片和測試的驗(yàn)證，所選擇的例子也都取自實(shí)際的科研項(xiàng)目，具有一定的代表性和實(shí)用性。

書籍目錄

第一部分 半導(dǎo)體工藝/半導(dǎo)體器件TCAD仿真工具及使用 　第1章 半導(dǎo)體工藝仿真工具TSUPREM-4　第2章 半導(dǎo)體器件仿真工具M(jìn)EDICI　第3章 工藝及器件仿真工具ISE-TCAD　第4章 工藝及器件仿真工具SILVACO-TCAD　第5章 設(shè)計(jì)實(shí)例--用TCAD軟件對(duì)ESD器件的設(shè)計(jì)驗(yàn)證第二部分 模擬集成電路設(shè)計(jì)工具及使用 　第6章 電路仿真工具軟件　第7章 設(shè)計(jì)實(shí)例——基準(zhǔn)源、噪聲、開關(guān)電容設(shè)計(jì)及驗(yàn)證　第8章 版圖繪制及VIRTUOSO工具軟件　第9章 版圖驗(yàn)證與后仿真　第10章 DIVA規(guī)則文件的詳細(xì)說明第三部分 數(shù)字集成電路設(shè)計(jì)工具及使用 　第11章 系統(tǒng)級(jí)仿真與MATLAB　第12章 數(shù)字電路設(shè)計(jì)與VERILOG　第13章 硬件描述語言的軟件仿真與FPGA硬件驗(yàn)證　第14章 邏輯綜合與DESIGN COMPILER　第15章 基于SE軟件的布局布線和時(shí)序驗(yàn)證　第16章 基于ENCOUNTER軟件的布局布線和時(shí)序驗(yàn)證　第17章 可測性設(shè)計(jì)及DFT軟件使用參考文獻(xiàn)

章節(jié)摘錄

　　第一部分　半導(dǎo)體工藝／半導(dǎo)體器件TCAD仿真工具及使用　　隨著微電子科學(xué)及半導(dǎo)體技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體工藝不斷改進(jìn)，半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)與性能也不斷提升。其中半導(dǎo)體工藝和半導(dǎo)體器件仿真工具TCAD（Technology Computer Aided Design）的作用功不可沒。TCAD工具可以通過計(jì)算機(jī)仿真技術(shù)對(duì)不同工藝條件進(jìn)行模擬，取代或部分取代昂貴費(fèi)時(shí)的工藝實(shí)驗(yàn)；還可以利用器件仿真軟件對(duì)不同器件結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，獲得理想的特性，從而達(dá)到為工藝和器件的試制和生產(chǎn)提供有效、快捷和“綠色”的通道?！　CAD作為一種半導(dǎo)體工藝和器件的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)軟件，是我們熟知的電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化工具EDA（Electronic Design Automation）的重要分支，是現(xiàn)代集成電路設(shè)計(jì)和制造不可或缺的輔助手段。TCAD是一種建立在半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)之上的數(shù)值仿真工具，不僅可以對(duì)工藝流程和器件行為進(jìn)行仿真，還可以對(duì)電路性能以及電缺陷等進(jìn)行模擬?！　〉湫偷腡CAD設(shè)計(jì)流程如圖1所示。TCAD設(shè)計(jì)流程首先從工藝步驟和器件性能需求出發(fā)，工藝設(shè)計(jì)師在充分理解工藝對(duì)半導(dǎo)體器件性能影響的情況下，提出符合要求的工藝流程和器件結(jié)構(gòu)定義。確定這兩者之后，工藝仿真工程師按照定義編寫相應(yīng)的工藝仿真文件，并導(dǎo)入TCAD軟件中進(jìn)行工藝仿真，其間需要不斷地調(diào)整描述文件中的語句以保證仿真的順利進(jìn)行。最后將工藝仿真的數(shù)據(jù)導(dǎo)入器件仿真軟件中進(jìn)行器件仿真，并通過分析器件仿真的結(jié)果，調(diào)整工藝流程和器件結(jié)構(gòu)定義中出現(xiàn)的偏差，然后重新進(jìn)行整個(gè)流程的仿真。通過不斷地工藝調(diào)整和仿真，最終達(dá)到預(yù)定的設(shè)計(jì)要求，確定最終的工藝流程和器件結(jié)構(gòu)。實(shí)際運(yùn)用中，也可以單獨(dú)對(duì)某項(xiàng)工藝或者器件的某一部分進(jìn)行模擬仿真?！　　?/pre>








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