微型傳感器

內(nèi)容概要

針對(duì)微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快，一些理論、方法及實(shí)現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點(diǎn)，本書緊密結(jié)合微傳感器的最新發(fā)展動(dòng)態(tài)，對(duì)熱、輻射、機(jī)械、磁、化學(xué)量微傳感器的基本理論及實(shí)現(xiàn)技術(shù)進(jìn)行分類闡述，同時(shí)介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識(shí)，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。本書幫助讀者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識(shí)的基礎(chǔ)上，建立微傳感器設(shè)計(jì)、研究、制作及實(shí)驗(yàn)分析等方面的基本概念。當(dāng)遇到具體的微傳感器問題時(shí)，能查到專業(yè)文獻(xiàn)，能讀懂文獻(xiàn)內(nèi)容，能自行設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)，能對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)。    本書所涉及的微傳感器，是指那些至少有一個(gè)物理尺寸在亞毫米量級(jí)的傳感器。全書共分10章：引言、微傳感器與信號(hào)、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學(xué)量微傳感器、輻射量微傳感器、機(jī)械量微傳感器、磁微傳感器、化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)、化學(xué)量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取。    本書可供高等工科院校微機(jī)電系統(tǒng)、測(cè)控技術(shù)與儀器、自動(dòng)化工程、機(jī)電一體化及儀器儀表等專業(yè)師生使用，也可供從事儀器相關(guān)專業(yè)的研究、設(shè)計(jì)、制造、使用的工程技術(shù)人員學(xué)習(xí)和參考。

書籍目錄

1  引言　1.1　微電子與微傳感器　　1.1.1  微電子與微器件　　1.1.2　微傳感器　　1.1.3  微機(jī)電系統(tǒng)　　1.1.4　微器件的相關(guān)理論與技術(shù)　1.2　微傳感器與測(cè)量系統(tǒng)　　1.2.1  測(cè)量系統(tǒng)　　1.2.2　微傳感器的分類　　1.2.3  微傳感器系統(tǒng)　1.3  本書內(nèi)容的學(xué)習(xí)　　1.3.1  專業(yè)文獻(xiàn)的查找　　1.3.2  專業(yè)文獻(xiàn)的閱讀　　1.3.3　數(shù)據(jù)的總結(jié)與表達(dá)　推薦閱讀　練習(xí)與思考2  微傳感器與信號(hào)　2.1　微傳感器的理想特性及實(shí)用中的局限性　　2.1.1　微傳感器的誤差　　2.1.2　微傳感器的靜態(tài)特性　　2.1.3  微傳感器的動(dòng)態(tài)特性  2.2　微傳感器的標(biāo)定　　2.2.1　微傳感器標(biāo)定的基本概念　　2.2.2　精度、精密度、誤差、不確定度　　2.2.3　微傳感器的標(biāo)定與數(shù)據(jù)處理　　2.2.4　微傳感器標(biāo)定實(shí)驗(yàn)的設(shè)計(jì)　2.3　微傳感器信號(hào)的數(shù)據(jù)獲取　　2.3.1　微傳感器的信號(hào)調(diào)理　　2.3.2　接口與數(shù)域　　2.3.3  電阻的檢測(cè)　　2.3.4  電容的檢測(cè)　推薦閱讀　練習(xí)與思考3　微傳感器的常用材料及加工工藝　3.1　材料的基本知識(shí)　　3.1.1  材料的基本物理特性　　3.1.2  導(dǎo)體、半導(dǎo)體和電介質(zhì)材料　　3.1.3  MEMS常用材料　3.2　微傳感器的常用材料　　3.2.1  半導(dǎo)體敏感材料　　3.2.2　敏感陶瓷材料　　3.2.3  高分子敏感材料　　3.2.4　磁性材料　　3.2.5　微傳感器的封裝　3.3  常用的微加工技術(shù)　　3.3.1　硅的刻蝕技術(shù)　　3.3.2　表面膜的加工工藝　　3.3.3　硅的平面微加工工藝　　3.3.4　三維結(jié)構(gòu)的微加工工藝　推薦閱讀　練習(xí)與思考4　熱學(xué)量微傳感器　4.1　基本知識(shí)及定義　　4.1.1　基本的熱學(xué)量　　4.1.2  溫度及其標(biāo)定……5　輻射量微傳感器6　機(jī)械量微傳感器7　磁微傳感器8　化學(xué)量微傳感器常用技術(shù)9　化學(xué)量微傳感器10　微傳感器的數(shù)據(jù)獲取參考文獻(xiàn)

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無

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