微型傳感器

內容概要

針對微傳感器技術發(fā)展速度快，一些理論、方法及實現(xiàn)技術尚未成熟的特點，本書緊密結合微傳感器的最新發(fā)展動態(tài)，對熱、輻射、機械、磁、化學量微傳感器的基本理論及實現(xiàn)技術進行分類闡述，同時介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。本書幫助讀者在掌握微傳感器基礎知識的基礎上，建立微傳感器設計、研究、制作及實驗分析等方面的基本概念。當遇到具體的微傳感器問題時，能查到專業(yè)文獻，能讀懂文獻內容，能自行設計實驗，能對實驗結果進行分析總結。    本書所涉及的微傳感器，是指那些至少有一個物理尺寸在亞毫米量級的傳感器。全書共分10章：引言、微傳感器與信號、微傳感器的常用材料及加工工藝、熱學量微傳感器、輻射量微傳感器、機械量微傳感器、磁微傳感器、化學量微傳感器常用技術、化學量微傳感器、微傳感器的數(shù)據(jù)獲取。    本書可供高等工科院校微機電系統(tǒng)、測控技術與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀表等專業(yè)師生使用，也可供從事儀器相關專業(yè)的研究、設計、制造、使用的工程技術人員學習和參考。

書籍目錄

1  引言　1.1　微電子與微傳感器　　1.1.1  微電子與微器件　　1.1.2　微傳感器　　1.1.3  微機電系統(tǒng)　　1.1.4　微器件的相關理論與技術　1.2　微傳感器與測量系統(tǒng)　　1.2.1  測量系統(tǒng)　　1.2.2　微傳感器的分類　　1.2.3  微傳感器系統(tǒng)　1.3  本書內容的學習　　1.3.1  專業(yè)文獻的查找　　1.3.2  專業(yè)文獻的閱讀　　1.3.3　數(shù)據(jù)的總結與表達　推薦閱讀　練習與思考2  微傳感器與信號　2.1　微傳感器的理想特性及實用中的局限性　　2.1.1　微傳感器的誤差　　2.1.2　微傳感器的靜態(tài)特性　　2.1.3  微傳感器的動態(tài)特性  2.2　微傳感器的標定　　2.2.1　微傳感器標定的基本概念　　2.2.2　精度、精密度、誤差、不確定度　　2.2.3　微傳感器的標定與數(shù)據(jù)處理　　2.2.4　微傳感器標定實驗的設計　2.3　微傳感器信號的數(shù)據(jù)獲取　　2.3.1　微傳感器的信號調理　　2.3.2　接口與數(shù)域　　2.3.3  電阻的檢測　　2.3.4  電容的檢測　推薦閱讀　練習與思考3　微傳感器的常用材料及加工工藝　3.1　材料的基本知識　　3.1.1  材料的基本物理特性　　3.1.2  導體、半導體和電介質材料　　3.1.3  MEMS常用材料　3.2　微傳感器的常用材料　　3.2.1  半導體敏感材料　　3.2.2　敏感陶瓷材料　　3.2.3  高分子敏感材料　　3.2.4　磁性材料　　3.2.5　微傳感器的封裝　3.3  常用的微加工技術　　3.3.1　硅的刻蝕技術　　3.3.2　表面膜的加工工藝　　3.3.3　硅的平面微加工工藝　　3.3.4　三維結構的微加工工藝　推薦閱讀　練習與思考4　熱學量微傳感器　4.1　基本知識及定義　　4.1.1　基本的熱學量　　4.1.2  溫度及其標定……5　輻射量微傳感器6　機械量微傳感器7　磁微傳感器8　化學量微傳感器常用技術9　化學量微傳感器10　微傳感器的數(shù)據(jù)獲取參考文獻

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