薄膜技術(shù)與薄膜材料

出版時(shí)間：2006-8 出版社：清華大學(xué)出版社作者：田民波頁(yè)數(shù)：962 字?jǐn)?shù)：1213000
Tag標(biāo)簽：無(wú)

內(nèi)容概要

薄膜及微細(xì)加工技術(shù)的應(yīng)用范圍極為廣泛，從大規(guī)模集成電路、電子元器件、平板顯示器、信息記錄與存儲(chǔ)、MEMS、傳感器、太陽(yáng)能電池，到材料的表面改性等，涉及高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的各個(gè)領(lǐng)域。本書(shū)內(nèi)容包括真空技術(shù)基礎(chǔ)、薄膜制備、微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用、薄膜成分與結(jié)構(gòu)分析等5大部分，涉及薄膜技術(shù)與薄膜材料的各個(gè)方面，知識(shí)全面，脈絡(luò)清晰。全書(shū)共17章，文字通俗易懂，并配有大量圖解，有利于對(duì)基本知識(shí)的理解、掌握與運(yùn)用。對(duì)于從事相關(guān)行業(yè)的科技工作者與工程技術(shù)人員，本書(shū)具有極為難得的參考價(jià)值，同時(shí)也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術(shù)在高新技術(shù)中應(yīng)用的一本很好的入門(mén)書(shū)籍。

書(shū)籍目錄

第1章 薄膜與高新技術(shù)第2章 真空技術(shù)基礎(chǔ)　2.1　真空的基本知識(shí)　2.2　真空的表征　2.3　氣體分子與表面的相互作用第3章 真空泵與真空規(guī)  3.1　真空泵　3.2　真空測(cè)量?jī)x器——總壓強(qiáng)計(jì)第4章 真空裝置的實(shí)際問(wèn)題　4.1　排氣的基礎(chǔ)知識(shí)　4.2　材料的放氣　4.3　排氣時(shí)間的估算　4.4　實(shí)用的排氣系統(tǒng)　4.5　檢漏　4.6　大氣溫度與濕度對(duì)裝置的影響　4.7　烘烤用的內(nèi)部加熱器　4.8　化學(xué)活性氣體的排氣第5章 氣體放電和低溫等離子體　5.1　帶電粒子在電磁場(chǎng)中的運(yùn)動(dòng)　5.2　氣體原子的電離和激發(fā)　5.3　氣體放電發(fā)展過(guò)程　5.4　低溫等離子體概述　5.5　輝光放電　5.6　弧光放電　5.7　高頻放電　5.8　磁控放電　5.9　低壓力、高密度等離子體放電第6章 薄膜生長(zhǎng)與薄膜結(jié)構(gòu)　6.1　薄膜生長(zhǎng)概述　6.2　吸附、表面擴(kuò)散與凝結(jié)　6.3　薄膜的形核與生長(zhǎng)　6.4　連續(xù)薄膜的形成　6.5　薄膜的生長(zhǎng)過(guò)程與薄膜結(jié)構(gòu)　6.6　非晶態(tài)薄膜　6.7　薄膜的基本性質(zhì)　6.8　薄膜的粘附力和內(nèi)應(yīng)力　6.9　電遷移第7章 表面結(jié)構(gòu)與薄膜的外延生長(zhǎng)　7.1　理想表面結(jié)構(gòu)　7.2　清潔表面結(jié)構(gòu)　7.3　實(shí)際表面結(jié)構(gòu)　7.4　薄膜的外延生長(zhǎng)　7.5　影響薄膜外延的因素第8章 薄膜沉積的共性問(wèn)題　8.1　成膜工藝與膜材料簡(jiǎn)介　8.2　源和膜的成分——如何得到所需要的膜成分　8.3　附著強(qiáng)度——如何提高膜層的附著強(qiáng)度　8.4　臺(tái)階涂敷,繞射著膜率,孔底涂敷——如何在大凹凸表面沉積厚度均勻的膜層　8.5　等離子體及其在薄膜沉積中的作用——膜質(zhì)的改善、新技術(shù)的開(kāi)發(fā)　8.6　基板的傳輸機(jī)構(gòu)　8.7　膜層中的針孔和超凈工作間第9章 真空蒸鍍　9.1　概述　9.2　鍍料的蒸發(fā)　9.3　蒸發(fā)源　9.4　蒸發(fā)源的蒸氣發(fā)射特性與基板配置　9.5　蒸鍍裝置及操作　9.6　合金膜的蒸鍍　9.7　化合物膜的蒸鍍　9.8　脈沖激光熔射（PLA）　9.9　分子束外延技術(shù)第10章 離子鍍和離子束沉積　10.1　離子鍍的原理　10.2　離子鍍的類型及特點(diǎn)　10.3　離子束沉積　10.4　離子束混合第11章 濺射鍍膜　11.1　離子濺射　11.2　濺射鍍膜方式　11.3　磁控濺射源　11.4　濺射鍍膜的實(shí)例第12章 化學(xué)氣相沉積（CVD）　12.1　熱氧化、氮化　12.2　熱CVD　12.3　等離子體CVD（PCVD）　12.4　光CVD（photo CVD）　12.5　有機(jī)金屬CVD（MOCVD）　12.6　金屬CVD585　12.7　半球形晶粒多晶Si?CVD（HSG?CVD）　12.8　鐵電體的CVD　12.9　低介電常數(shù)薄膜的CVD第13章 干法刻蝕　13.1　干法刻蝕與濕法刻蝕　13.2　等離子體刻蝕——激發(fā)反應(yīng)氣體刻蝕　13.3　反應(yīng)離子刻蝕（RIE）　13.4　反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE）　13.5　氣體離化團(tuán)束（GCIB）加工技術(shù)　13.6　微機(jī)械加工　13.7　干法刻蝕用離子源的開(kāi)發(fā)第14章 平坦化技術(shù)　14.1　平坦化技術(shù)的必要性　14.2　平坦化技術(shù)概要　14.3　不發(fā)生凹凸的薄膜生長(zhǎng)　14.4　沉積同時(shí)進(jìn)行加工防止凹凸發(fā)生的薄膜生長(zhǎng)　14.5　薄膜生長(zhǎng)后經(jīng)再加工實(shí)現(xiàn)平坦化　14.6　埋入技術(shù)實(shí)例　14.7　化學(xué)機(jī)械研磨（CMP）技術(shù)　14.8　氣體離化團(tuán)束（GCIB）加工平坦化　14.9　鑲嵌法布線及平坦化　14.10　平坦化技術(shù)與光刻制版術(shù)第15章 薄膜材料　15.1　金屬薄膜材料　15.2　無(wú)機(jī)、陶瓷薄膜材料　15.3　有機(jī)、聚合物薄膜材料　15.4　半導(dǎo)體薄膜材料第16章 薄膜材料的應(yīng)用　16.1　表面改性　16.2　超硬膜用于切削刀具　16.3　能量變換薄膜與器件　16.4　傳感器　16.5　半導(dǎo)體器件　16.6　記錄與存儲(chǔ)　16.7　平板顯示器　16.8　金剛石薄膜的應(yīng)用　16.9　太陽(yáng)能電池　16.10　發(fā)光器件第17章 薄膜材料的評(píng)價(jià)表征及物性測(cè)定　17.1　薄膜材料評(píng)價(jià)表征的特殊性　17.2　薄膜材料評(píng)價(jià)表征方法及其選擇　17.3　薄膜材料的評(píng)價(jià)表征　17.4　相關(guān)技術(shù)和裝置　17.5　薄膜材料評(píng)價(jià)表征舉例　17.6　薄膜材料的物性測(cè)定附錄A 各種元素的溫度—蒸氣壓特性附錄B 元素的電離電位附錄C 物理常數(shù)表附錄D（新舊）常用計(jì)量單位對(duì)照與換算附錄E 能量換算表、壓力換算表及氣體的性質(zhì)表附錄F 半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路的發(fā)展預(yù)測(cè)附錄G 示屏的圖像分辨率等級(jí)、圖像分辨率（像素?cái)?shù)）和寬高比附錄H 元素周期表附錄I 薄膜技術(shù)與薄膜材料領(lǐng)域常用縮略語(yǔ)注釋參考文獻(xiàn)

編輯推薦

《薄膜技術(shù)與薄膜材料》具有極為難得的參考價(jià)值，同時(shí)也是其他感興趣讀者了解薄膜材料與技術(shù)在高新技術(shù)中應(yīng)用的一本很好的入門(mén)書(shū)籍。

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用戶評(píng)論 (總計(jì)53條)

在薄膜技術(shù)方面，這本書(shū)算是比較全面和權(quán)威了。全書(shū)對(duì)基本原理的介紹很扎實(shí)，可以作為入門(mén)用的教科書(shū)。也附錄了大量數(shù)據(jù)，可以用作工具書(shū)。
應(yīng)該是薄膜材料類書(shū)籍中非常經(jīng)典、非常全面的一本是了
這本書(shū)真的很全面，將真空鍍膜的基本各方面都講到了。如果看完了會(huì)對(duì)這個(gè)行業(yè)從整體上全面了解。但是我覺(jué)得對(duì)現(xiàn)在流行的磁控濺射技術(shù)講得太少了
真空行業(yè)總體來(lái)說(shuō)比較窄,但應(yīng)用的行業(yè)卻很多,以至于書(shū)籍也比較少,要不就是很早以前的書(shū),這本書(shū)雖然講的比較寬泛點(diǎn),但可以對(duì)真空有很清楚,系統(tǒng)的認(rèn)識(shí).建議大家買(mǎi)來(lái)看看!
內(nèi)容很全面，如果再加上這幾年的新技術(shù)就更完美了。
很實(shí)用的工業(yè)技術(shù)，從基礎(chǔ)開(kāi)始，一步一步深入！難得的好書(shū)！大家都要支持！
看了一部分，內(nèi)容寫(xiě)的通俗易懂，還很全面。
很全面，挺好的！
本書(shū)內(nèi)容詳實(shí)，全面，是本行業(yè)一本不錯(cuò)的工具書(shū)，值得購(gòu)買(mǎi)！
跟專業(yè)很掛鉤，而且介紹的內(nèi)容也很全面
該書(shū)很詳細(xì)，去論對(duì)初學(xué)者，還是對(duì)已學(xué)者，都是一本非常有價(jià)值的書(shū)。
在專業(yè)領(lǐng)域的確有所幫助
自己買(mǎi)了一本在看
老板看見(jiàn)了覺(jué)得不錯(cuò)，托我又給他買(mǎi)了一本。實(shí)用，全面
非常全面，還不錯(cuò)
這本書(shū)對(duì)我非常有用，由于是比較專業(yè)的一本書(shū)，在許多書(shū)店都沒(méi)有看到，在當(dāng)當(dāng)購(gòu)物便宜又方便。太棒了！
很不錯(cuò)，內(nèi)容豐富，原理清楚
剛收到，看起來(lái)不錯(cuò)，又幫朋友買(mǎi)了一本
很翔實(shí)
書(shū)不錯(cuò)，是正版，鍍膜必備
有的看不懂總體不錯(cuò)
正版，可當(dāng)板磚用
我是專門(mén)搞這個(gè)的用了很方便的啊
是正版書(shū)，送書(shū)速度快，書(shū)質(zhì)量也不錯(cuò)。
學(xué)習(xí)借鑒
質(zhì)量很好，正在閱讀。
書(shū)正是我所需要的，對(duì)我很有用。感謝！
你們的服務(wù)很好?。。。。。?！
買(mǎi)回來(lái)迫不及待地翻了一遍，非常實(shí)用，是本好書(shū)，值得購(gòu)買(mǎi)。
好書(shū)，當(dāng)字典那種類型的用
這本書(shū)比較全是真的，但是任何東西只要一考慮的東西多，就很難保證深度了，這也是難以避免的。書(shū)中講CVD的太過(guò)淺顯粗糙，公式的推導(dǎo)還是不是很好，但作為大概了解真空系統(tǒng)和真空技術(shù)的參考書(shū)還是不錯(cuò)的。建議先看看PDF版再?zèng)Q定買(mǎi)還是不買(mǎi)！
這本書(shū)比較專業(yè)，本專業(yè)用挺好的！
不錯(cuò)，內(nèi)容全面
內(nèi)容比較全面，講的比較通徹，好書(shū)一本
我是第一次在網(wǎng)上購(gòu)物，買(mǎi)的是一本書(shū)，價(jià)格是七八折，因?yàn)槭窍∪睍?shū)，在外面書(shū)店很少有折打，比較便宜。郵寄回來(lái)后，我看書(shū)非常新，比購(gòu)書(shū)中心書(shū)價(jià)上的那些要包裝質(zhì)量好很多。最令我滿意的是我下了定單到拿到書(shū)總共才七天時(shí)間。（比想像中快很多）。另外，貨到后再付款也的確很好。謝謝??！
書(shū)倒是正版的，挺不錯(cuò)……
收到書(shū)，前言幾頁(yè)都已經(jīng)脫落，非常失望
書(shū)確實(shí)不錯(cuò)，對(duì)專業(yè)講解比較細(xì)致，但是當(dāng)當(dāng)送貨也太慢了，都一個(gè)禮拜才到，還有這書(shū)有皺的，側(cè)邊都有好多臟的，實(shí)在是難以恭維，當(dāng)當(dāng)今后是該改改了，如果總送這樣的書(shū)，恐怕我也不敢買(mǎi)了。
書(shū)還不錯(cuò)，我是學(xué)這個(gè)的，是老師叫我買(mǎi)的，應(yīng)該是本好書(shū)。
書(shū)很快就到了，我買(mǎi)了兩本，很不錯(cuò)
怎么說(shuō)呢？?jī)?nèi)容當(dāng)然很全面，真空原理及裝置部分、薄膜生長(zhǎng)原理、薄膜沉積工藝、薄膜微細(xì)加工、薄膜材料及應(yīng)用等等，不折不扣一個(gè)大部頭，對(duì)鍍膜的工程實(shí)踐肯定有所幫助。遺憾的是，真空原理及裝置的這幾章內(nèi)容講的粗糙了一點(diǎn)，原理不夠深入，泵的結(jié)構(gòu)圖不夠明晰，公式推導(dǎo)簡(jiǎn)直沒(méi)有。只能說(shuō)一般了。
該詳細(xì)的地方不詳細(xì)
不錯(cuò)的書(shū)，但是有破損，估計(jì)是運(yùn)輸造成的，望以后多多注意
感覺(jué)只講了大概,不明白.
書(shū)還比較好
其中在第三章真空泵和真空規(guī)完全是日本麻蒔立男寫(xiě)的《薄膜制備技術(shù)基礎(chǔ)》中文版本的再翻譯，到了第四章真空裝置的實(shí)際問(wèn)題一章中就完全照抄中文版本的內(nèi)容了連標(biāo)點(diǎn)符號(hào)圖片都用人家的。田民波清華大學(xué)的老教授了感覺(jué)中國(guó)學(xué)術(shù)爛到家了丟人
看了一段時(shí)間結(jié)果老板的被人家借走了就把我的拿去了沒(méi)辦法只有再買(mǎi)一本
專業(yè)書(shū)籍還是很好的啊
內(nèi)容很系統(tǒng)，對(duì)工作有指導(dǎo)意義
不錯(cuò)～幫老板購(gòu)買(mǎi)的,工廠技術(shù)參考價(jià)值有
你說(shuō)都這么厚了，做專業(yè)點(diǎn)該是多么專業(yè)的事情呢
真的能看完這本書(shū),你就不得了了!
很早前沒(méi)的了，很好的一本書(shū)
這是一部非常專業(yè)、非常系統(tǒng)的薄膜圖書(shū)。

薄膜技術(shù)與薄膜材料

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