微納米測量技術(shù)

內(nèi)容概要

本書講述了微納米測量技術(shù)的基本理論和方法、微納米測量系統(tǒng)的工作原理及構(gòu)成以及對不同物理量的微納米測量應(yīng)用。    全書共4章，內(nèi)容包括：微納米測量技術(shù)的意義、特點(diǎn)和研究的內(nèi)容；微型傳感器的工作原理及其典型應(yīng)用；微納米測量技術(shù)中的光學(xué)方法，光學(xué)測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及應(yīng)用；微納米尺度的幾何量、表面粗糙度、表面微觀形貌、MEMS材料機(jī)械特性、微應(yīng)力和微應(yīng)變、微位移、速度和加速度、振動、聲和超聲等典型物理量的測量技術(shù)應(yīng)用。    本書可作為高等院校微機(jī)電系統(tǒng)工程、測控、儀器、自動化、機(jī)電一體化等專業(yè)的本科生和研究生教材，也可作為工程技術(shù)人員的參考書。

書籍目錄

1 緒論 　1.1 測量和測量系統(tǒng) 　1.2 微納米技術(shù)和微系統(tǒng)技術(shù) 　　1.2.1 微納米技術(shù)的產(chǎn)生和發(fā)展 　　1.2.2 微系統(tǒng)技術(shù) 　　1.2.3 微系統(tǒng)技術(shù)加工方法 　　1.2.4 微納米材料的特性　1.3 微納米測量技術(shù)的任務(wù)　1.4 課程學(xué)習(xí)的主要內(nèi)容　習(xí)題2 信號的傳感及微型傳感器 　2.1 MEMS技術(shù)與微型傳感器　2.2 加速度微傳感器　　2.2.1 基本原理　　2.2.2 壓阻式微加速度計(jì)　　2.2.3 電容式和力平衡（伺服）式加速度計(jì)　　2.2.4 各類微加速度傳感器的性能比較　2.3 微型力、壓力、應(yīng)變傳感器　　2.3.1 基本原理　　2.3.2 微力傳感器　　2.3.3 微應(yīng)力敏感電子裝置 　　2.3.4 微壓力傳感器　　2.3.5 壓阻式壓力傳感器　　2.3.6 電容式壓力傳感器　　2.3.7 微應(yīng)變傳感器　2.4 速度和流量微傳感器　　2.4.1 基本原理　　2.4.2 熱敏電阻式微流量傳感器　　2.4.3 壓阻式微型流量傳感器　　2.4.4 電容式微型流量傳感器　　2.4.5 諧振橋式微流量傳感器　2.5 質(zhì)量微傳感器　　2.5.1 基本原理　　2.5.2 壓電質(zhì)量微傳感器　　2.5.3 SAWR微傳感器　2.6 隧道效應(yīng)式傳感器　　2.6.1 基本原理　　2.6.2 隧道效應(yīng)加速度計(jì)　　2.6.3 隧道效應(yīng)紅外傳感器　　2.6.4 隧道效應(yīng)式磁強(qiáng)計(jì)　2.7 光纖傳感器　　2.7.1 光纖結(jié)構(gòu)及光導(dǎo)原理　　2.7.2 光纖特性　　2.7.3 光纖傳感器原理及結(jié)構(gòu)　習(xí)題 3 微納米測量技術(shù)的光學(xué)方法　3.1 自動調(diào)焦法　　3.1.1 自動調(diào)焦原理　　3.1.2 輪廓測量　　3.1.3 三維形貌測量　　3.1.4 自動調(diào)焦方法的應(yīng)用　3.2 三角法測量原理及應(yīng)用　　3.2.1 點(diǎn)三角法傳感器的基本結(jié)構(gòu)及作用原理　　3.2.2 三角法測量傳感器中光源的選擇　　3.2.3 不同檢測方案的比較　　3.2.4 影響三角法測量精度的因素　　3.2.5 點(diǎn)三角法傳感器的典型特性　　3.2.6 三角法傳感器的應(yīng)用 　　3.2.7 激光光切法傳感器　　3.2.8 光切法傳感器的光源和探測器　　3.2.9 圖像評價(jià)　　3.2.10 光切法的應(yīng)用　3.3 莫爾條紋法和投影條紋法　　3.3.1 莫爾條紋法　　3.3.2 陰影莫爾法　　3.3.3 投影莫爾法　3.4 投影條紋法　　3.4.1 作用原理　　3.4.2 編碼式光切法　3.5 光學(xué)顯微測量技術(shù)　　3.5.1 顯微鏡的工作原理　　3.5.2 測量顯微鏡　3.6 光干涉測量技術(shù)　　3.6.1 相移干涉測量技術(shù)　　3.6.2 白光干涉測量技術(shù)　　3.6.3 顯微干涉測量技術(shù)　3.7 激光掃描顯微測量技術(shù)　　3.7.1 自聚焦激光掃描顯微鏡　　3.7.2 共焦激光掃描顯微鏡　3.8 掃描電子顯微鏡技術(shù)　　3.8.1 電子顯微鏡的工作原理　　3.8.2 掃描電子顯微鏡　　3.8.3 掃描電子顯微鏡的應(yīng)用　3.9 原子力顯微鏡技術(shù)　　3.9.1 原子力顯微鏡的工作模式　　3.9.2 微懸臂形變檢測方法　　3.9.3 原子力顯微鏡的應(yīng)用　習(xí)題4 典型物理量和MEMs系統(tǒng)特征參數(shù)的測量技術(shù)　4.1 MEMS器件幾何結(jié)構(gòu)特征參數(shù)測量　　4.1.1 微米尺度的幾何量測量　　4.1.2 納米尺度的幾何量測量與納米測量學(xué)　4.2 表面粗糙度與表面微觀形貌測量　　4.2.1 表面粗糙度與表面微觀形貌的評價(jià)方法　　4.2.2 表面粗糙度與表面微觀形貌的測量方法　4.3 MEMS材料機(jī)械特性的測試 　　4.3.1 拉仲測試法　　4.3.2 彎曲梁法　　4.3.3 納米壓入法　　4.3.4 鼓膜法　　4.3.5 共振頻率法　4.4 力、應(yīng)力和應(yīng)變的測量　　4.4.1 MEMS結(jié)構(gòu)中的應(yīng)力和應(yīng)變　　4.4.2 應(yīng)力、應(yīng)變對MEMS結(jié)構(gòu)的影響　　4.4.3 MEMS結(jié)構(gòu)中應(yīng)力和應(yīng)變的測量方法　4.5 微位移、速度、加速度和振動等微機(jī)械量的測量　　4.5.1 計(jì)算機(jī)微視覺與頻閃光照明技術(shù)在微機(jī)械量檢測中的應(yīng)用　　4.5.2 干涉技術(shù)在微機(jī)械量檢測中的應(yīng)用　　4.5.3 光纖技術(shù)在微機(jī)械量檢測中的應(yīng)用　4.6 聲和超聲等其他物理量的測量　　4.6.1 聲頻的測量　　4.6.2 聲壓測量技術(shù)　　4.6.3 聲強(qiáng)測量技術(shù)　　4.6.4 其他聲學(xué)參數(shù)測量技術(shù)　　4.6.5 聲學(xué)測量技術(shù)　習(xí)題參考文獻(xiàn)

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