拋光劑配方與生產(chǎn)

內(nèi)容概要

《拋光劑配方與生產(chǎn)》收集了200余種拋光劑制備實例，詳細介紹了產(chǎn)品的原料配比、制備方法、原料配伍、應用和特性。全書共分為四大部分，分別是：金屬拋光劑，半導體、集成電路等電子工業(yè)用拋光劑，玻璃、陶瓷、晶體等無機材料用拋光劑，其他拋光劑。

書籍目錄

一、金屬拋光劑H62黃銅拋光液K金首飾無氰電解拋光液SiSb基相變材料用化學機械拋光液ULSI銅表面高精密加工過程中化學機械拋光液不銹鋼化學拋光液（1）不銹鋼化學拋光液（2）不銹鋼化學拋光液（3）不銹鋼制品的化學拋光劑防潮型白拋光膏防凍型拋光液高純度納米金剛石拋光膏高純度納米金剛石拋光液高精度氧化鋁拋光液高濃度Ti阻擋層表面化學機械拋光液高去除率、低損傷的銅化學機械拋光液含氫氟酸的鋁型材酸性拋光劑核/殼型復合納米磨料硅片拋光液核/殼型復合納米磨料銅化學機械拋光液化學機械拋光液（1）化學機械拋光液（2）化學機械拋光液（3）化學機械拋光液（4）化學機械拋光液（5）化學機械拋光液（6）化學機械拋光液（7）化學機械拋光液（8）化學機械拋光液（9）化學機械拋光液（10）化學機械拋光液（11）化學機械拋光液（12）化學機械拋光液（13）化學機械拋光液（14）化學機械拋光液（15）化學機械拋光液（16）化學機械拋光液（17）化學機械拋光液（18）化學機械拋光液（19）化學機械拋光液（20）化學機械拋光液（21）化學機械拋光液（22）化學機械拋光液（23）化學機械拋光液（24）化學機械拋光液（25）化學機械拋光液（26）化學機械拋光液（27）化學機械拋光液（28）化學機械拋光液（29）化學機械拋光液（30）化學機械拋光液（31）化學機械拋光液（32）化學機械拋光液（33）化學機械拋光液（34）化學機械拋光液（35）化學機械拋光液（36）化學機械拋光液（37）化學機械拋光液（38）化學機械拋光液（39）化學機械拋光液（40）化學機械拋光液（41）化學機械拋光液（42）化學機械拋光液（43）化學機械拋光液（44）化學機械拋光液（45）化學機械拋光液（46）化學機械拋光液（47）化學機械拋光液（48）化學機械拋光液（49）化學機械拋光液（50）化學機械拋光液（51）化學機械拋光液（52）化學機械拋光液（53）化學機械拋光液（54）化學機械拋光液（55）化學機械拋光液（56）化學機械拋光液（57）化學機械拋光液（58）化學拋光劑黃色拋光膏堿性硅晶片拋光液降低銅化學機械拋光粗糙度的拋光液金屬表面拋光膏石腦油金屬拋光劑礦物油金屬拋光劑水溶膠金屬拋光液金屬銅的拋光液（1）金屬銅的拋光液（2）金屬振動拋光液鋁合金電解拋光液鋁合金用拋光液鋁和鋁合金的化學拋光液鋁及鋁合金材料拋光液鋁及鋁合金的電化學拋光液鋁制品化學拋光液馬氏體高合金耐熱鋼金相檢測拋光劑鎂合金用拋光液鎂鋁合金材料表面化學機械拋光液納米氧化鈰復合磨粒拋光液濃酸拋光劑酸拋光液淺溝槽隔離拋光液取代銅酸洗工藝的處理銅及銅合金表面的拋光液水基金剛石拋光液水基納米金剛石拋光液鈦及鈦合金拋光液鈦鎳合金電化學拋光液鉭化學機械拋光液銅拋光中用的納米二氧化硅磨料拋光液銅制品拋光劑鎢拋光液（1）鎢拋光液（2）鋅和鉻加工用的納米二氧化硅磨料拋光液醫(yī)用NiTi形狀記憶合金拋光液用于不銹鋼鏡面的拋光液用于化學機械研磨的拋光液用于鉭阻擋拋光的化學機械的拋光液用于銅制程的化學機械拋光液（1）用于銅制程的化學機械拋光液（2）用于鎢化學機械拋光的拋光液用于氧化釩化學機械拋光的納米拋光液用于阻擋層拋光的化學機械拋光液有色金屬材料表面清潔拋光膏阻擋層化學機械拋光液用于低碳鋼納米壓入試樣的拋光液200二、半導體、集成電路等電子工業(yè)用拋光劑半導體晶片精密化學機械拋光劑半導體銻化銦化學機械拋光液超大規(guī)模集成電路多層銅布線化學機械全局平面化拋光液超大規(guī)模集成電路多層銅布線中銅與鉭的化學機械全局平面化拋光液超大規(guī)模集成電路硅襯底的化學機械拋光液超大規(guī)模集成電路鋁布線拋光液（1）超大規(guī)模集成電路鋁布線拋光液（2）大尺寸硅片用化學機械拋光液低介電材料拋光液多晶硅化學機械拋光液（1）多晶硅化學機械拋光液（2）多晶硅拋光液高介電材料鈦酸鍶鋇化學機械拋光液高精度復合拋光液高精度拋光液硅單晶襯底材料拋光液含有混合磨料的低介電材料拋光液（1）含有混合磨料的低介電材料拋光液（2）化學機械拋光半導體晶片用的拋光液化學機械拋光單晶氧化鎂基片用的拋光液極大規(guī)模集成電路多層布線中鎢插塞的拋光液集成電路銅互連結構中銅的電化學機械拋光液堿性計算機硬盤拋光液降低硅片表面微劃傷的拋光液介電層拋光液晶圓粗拋光液晶圓精拋光液具有特殊緩沖體系的硅片化學機械拋光液可循環(huán)使用的拋光液藍寶石襯底材料CMP拋光液藍寶石襯底拋光液（1）藍寶石襯底拋光液（2）藍寶石襯底加工專用拋光液高效高精度藍寶石拋光液用于藍寶石圓棒膠木輪的拋光膏微堿性藍寶石拋光液納米二氧化硅拋光劑拋光低介電材料的拋光液硬盤磁頭的拋光液硬盤磷化銦基板CMP拋光液用于大規(guī)模集成電路多層布線中鎢插塞的拋光液用于單晶硅片化學機械拋光的拋光液用于多晶硅拋光的化學機械拋光液用于計算機硬盤基片化學機械拋光的拋光液用于拋光半導體封蓋層的拋光液用于拋光多晶硅的化學機械拋光液（1）用于拋光多晶硅的化學機械拋光液（2）用于拋光多晶硅的化學機械拋光液（3）用于拋光多晶硅的化學機械拋光液（4）用于砷化鎵晶片的拋光液用于硬盤NiP的電化學機械拋光的拋光液用于硬盤基片的拋光液用于鍺晶片的拋光液有機堿腐蝕介質的稀土拋光液硫系化合物相變材料化學機械拋光的納米拋光液硫系化合物相變材料氧化鈰化學機械拋光液硫系相變材料化學機械拋光的無磨料拋光液納米級拋光液銻化銦材料表面化學機械拋光液三、玻璃、陶瓷、晶體等無機材料用拋光劑鈮酸鋰晶體拋光液非水基磁流變拋光液電子玻璃的納米SiO2磨料拋光液二氧化硅介質化學機械拋光液高效無劃傷玻璃拋光液磷酸氧鈦鉀晶體CMP拋光液納米二氧化硅磨料拋光液微晶玻璃加工用納米二氧化硅磨料拋光液（1）微晶玻璃加工用納米二氧化硅磨料拋光液（2）微晶玻璃拋光液硬脆材料化學機械拋光用無磨料拋光液用于玻璃材料的拋光液用于大尺寸金剛石晶圓超精密低損傷拋光的拋光液用于光學加工的水基磁流變拋光液用于介質材料平坦化的拋光液用于磷酸氧鈦鉀晶體的化學機械拋光液用于鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（1）用于鈮酸鋰光學晶片研磨拋光的拋光液（2）用于拋光低介電材料的化學機械拋光液用于拋光低介電材料的拋光液用于拋光低介電材料的拋光液用于硼酸鋰銫晶體的化學機械無水拋光液用于軟脆易潮解晶體的非水基無磨料拋光液用于微晶玻璃研磨拋光的拋光液314四、其他拋光劑用于表面拋光為10級的寶石圓球的拋光液車用多功能一體化清潔拋光劑環(huán)保型汽車劃痕拋光膏交聯(lián)型環(huán)保汽車拋光劑混合拋光液不含氟的拋光劑除藻型拋光液低光澤拋光劑（1）低光澤拋光劑（2）活性拋光劑木質地板、家具護理用的拋光組合物木質油精地板、家具上光保護劑（1）木質油精地板、家具上光保護劑（2）地板保養(yǎng)上光劑拋光磚、石材、人造石翻新用拋光劑拋光磚專用化學拋光劑皮革、石材增光保護劑石板材上光蠟石材保護劑石材鏡面效果拋光膏石材上光蠟新型拋光劑用于二氧化硅介質的拋光液參考文獻

圖書封面

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