薄膜制備技術(shù)基礎(chǔ)

前言

作為準(zhǔn)備從事薄膜制備工作的你，也許正坐在燒得通紅的火爐前讀著這本書?；馉t上燒著的水正在沸騰，由于水的沸騰，在窗玻璃上凝結(jié)了一層白花花的“霧氣”……這是由于水蒸發(fā)后在窗玻璃上附著而形成了一層薄薄的“薄膜”的現(xiàn)象，可以說(shuō)是一種水在窗玻璃上“蒸發(fā)鍍膜”的過(guò)程。如果不是對(duì)水，而是將鋁（Al）放在爐子里加熱，將會(huì)發(fā)生什么樣的現(xiàn)象呢？我們可以看到，鋁即使熔化了，只會(huì)在表面生成一層薄薄的“污垢”，別說(shuō)在玻璃上窗附著一層膜了，即使將窗玻璃放在與鋁非常近的地方，鋁也不會(huì)在玻璃上附著。這是因?yàn)殇X與大氣中的氧發(fā)生反應(yīng)而生成了氧化物，而且鋁沒(méi)有在大氣中蒸發(fā)。要制備良好的鋁薄膜，無(wú)論如何必須先排除大氣，即非在真空環(huán)境中進(jìn)行不可。如今，制備薄膜時(shí)，利用真空已成為最平常不過(guò)的事了。本書的前半部分，首先介紹制備薄膜而必須的真空技術(shù)。在此基礎(chǔ)上，后半部分?jǐn)⑹隽吮∧ぶ苽浼夹g(shù)，即用來(lái)制備薄膜的許多相關(guān)技術(shù)，還進(jìn)一步介紹了“電鍍”技術(shù)。這本書，確切點(diǎn)來(lái)講比較接近入門書，如想獲得更加專業(yè)的知識(shí)，請(qǐng)參閱羅列在參考文獻(xiàn)里的原始文獻(xiàn)，從那些文獻(xiàn)里可以獲得更深入的專業(yè)知識(shí)。在這些文獻(xiàn)里特地集中引用了許多學(xué)會(huì)雜志的綜述文章。另外，根據(jù)作者經(jīng)驗(yàn)認(rèn)為可能是比較難以理解的部分，用日常生活中的事情作了一些比喻，這也許可以對(duì)理解有所幫助，但這樣一來(lái)很可能會(huì)有與物理內(nèi)涵不一致的地方，敬請(qǐng)理解。最后，在歸納本書的同時(shí)，作者要再一次表示誠(chéng)摯的謝意，許多同行對(duì)本書給予了許多真誠(chéng)的幫助和指導(dǎo)，而且提供了許多寶貴的資料，正是由于他們的幫助，本書才得以完成。

內(nèi)容概要

本書較為系統(tǒng)、全面地介紹了與薄膜制備技術(shù)相關(guān)的各種基礎(chǔ)知識(shí)，涉及了薄膜制備系統(tǒng)、典型的物理制膜與化學(xué)制膜方法、薄膜加工方法，以及常用的薄膜性能表征技術(shù)，同時(shí)緊密結(jié)合當(dāng)前薄膜領(lǐng)域最先進(jìn)的技術(shù)、方法和裝置。     原外版書作者長(zhǎng)期在薄膜科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域從事研究、開發(fā)和教育工作，有豐富的工作經(jīng)驗(yàn)與廣博的專業(yè)知識(shí)。本書自初版以來(lái)，已有三十余年，迄今已4次再版，反映了本書在這一領(lǐng)域具有較為深遠(yuǎn)的影響。     本書的內(nèi)容豐富，由淺入深，對(duì)于材料科學(xué)、微電子專業(yè)學(xué)生而言是一本良好的基礎(chǔ)教材；對(duì)于在這一領(lǐng)域?qū)W習(xí)、工作的人員而言，具有很好的參考價(jià)值。

作者簡(jiǎn)介

作者：(日本)麻蒔立男 譯者：陳國(guó)榮 劉曉萌 莫曉亮

書籍目錄

第1章　薄膜技術(shù) 　1.1　生物計(jì)算(bio?computing)和薄膜技術(shù) 　1.2　醫(yī)用微型機(jī)械 　1.3　人工腦的實(shí)現(xiàn)（μ?Electronics） 　1.4　大型顯示的實(shí)現(xiàn) 　1.5　原子操控 　1.6　薄膜技術(shù)概略 　參考文獻(xiàn) 第2章　真空的基礎(chǔ) 　2.1　真空的定義 　2.2　真空的單位 　2.3　氣體的性質(zhì) 　　2.3.1　平均速率 Va 　　2.3.2　分子直徑 δ 　　2.3.3　平均自由程 L 　　2.3.4　碰撞頻率 Z 　2.4　氣體的流動(dòng)和流導(dǎo) 　　2.4.1　孔的流導(dǎo) 　　2.4.2　長(zhǎng)管的流導(dǎo) （L/a≥100） 　　2.4.3　短管的流導(dǎo) 　　2.4.4　流導(dǎo)的合成 　2.5　蒸發(fā)速率 　參考文獻(xiàn) 第3章　真空泵和真空測(cè)量 　3.1　真空泵 　　3.1.1　油封式旋片機(jī)械泵 　　3.1.2　油擴(kuò)散泵 　　3.1.3　吸附泵 　　3.1.4　濺射離子泵 　　3.1.5　升華泵 　　3.1.6　冷凝泵 　　3.1.7　渦輪泵（分子泵）和復(fù)合渦輪泵 　　3.1.8　干式機(jī)械泵 　3.2　真空測(cè)量?jī)x器——全壓計(jì) 　　3.2.1　熱導(dǎo)型真空計(jì) 　　3.2.2　電離真空計(jì)——電離規(guī) 　　3.2.3　磁控管真空計(jì) 　　3.2.4　蓋斯勒（Geissler）規(guī)管 　　3.2.5　隔膜真空計(jì) 　　3.2.6　石英晶振真空計(jì) 　　3.2.7　組合式真空規(guī) 　　3.2.8　真空計(jì)的安裝方法 　3.3　真空測(cè)量?jī)x器——分壓計(jì) 　　3.3.1　磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜儀 　　3.3.2　四極質(zhì)譜儀 　　3.3.3　有機(jī)物質(zhì)質(zhì)量分析IAMS法 　參考文獻(xiàn) 第4章　真空系統(tǒng) 　4.1　抽氣的原理 　4.2　材料的放氣 　4.3　抽氣時(shí)間的推算 　4.4　用于制備薄膜的真空系統(tǒng) 　　4.4.1　殘留氣體 　　4.4.2　用于制備薄膜的真空系統(tǒng) 　4.5　真空檢漏 　　4.5.1　檢漏方法 　　4.5.2　檢漏應(yīng)用實(shí)例 　參考文獻(xiàn) 第5章　薄膜基礎(chǔ) 第6章　薄膜的制備方法 第7章　基板 第8章　蒸鍍法 第9章　濺射 第10章 氣相沉積CVD和熱氧化氮化 第11章　刻蝕 第12章　精密電鍍 第13章　平坦化技術(shù) 參考文獻(xiàn)

章節(jié)摘錄

插圖：第6章薄膜的制備方法薄膜的制備除這里要講的利用真空來(lái)制備的方法以外，還有諸如電鍍、大氣中印刷涂敷、機(jī)械方法等許多方法。它作為一個(gè)重要的產(chǎn)業(yè)，不斷地獲得發(fā)展。在所有方法中，真空制備法作為一種先進(jìn)薄膜制備技術(shù)占有十分重要的地位。它在以電子學(xué)為核心的知識(shí)產(chǎn)業(yè)、電子工業(yè)、鐘表業(yè)、照相等光學(xué)產(chǎn)業(yè)中是不可或缺的重要技術(shù)。為此，真空法制備薄膜本身及其相關(guān)的應(yīng)用研究非常熱門，層出不窮的新技術(shù)、新方法不斷得到開發(fā)和利用。6．1緒論代表性的利用真空來(lái)制備薄膜的方法（以后就簡(jiǎn)稱為薄膜制備方法）大致有如表6．1所示的蒸發(fā)法、離子鍍法、濺射法和氣相反應(yīng)法。其他還有制備特富龍等有機(jī)薄膜的聚合法、電離聚合法以及制備一些特殊金屬單體薄膜的熱分解法等。本章主要敘述表中所列的4種方法。至于在液體中進(jìn)行的電鍍法將在第12章中詳細(xì)敘述。

編輯推薦

《薄膜制備技術(shù)基礎(chǔ)》的內(nèi)容豐富，由淺入深，對(duì)于材料科學(xué)、微電子專業(yè)學(xué)生而言是一本良好的基礎(chǔ)教材；對(duì)于在這一領(lǐng)域?qū)W習(xí)、工作的人員而言，具有很好的參考價(jià)值。

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