出版時間:2008-3 出版社:電子工業(yè)出版社 作者:王增福 等 著 頁數(shù):513
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內容概要
第1篇,重點闡述了真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍的工作原理、鍍膜方法及設備構造,并對電源電控、PLC控制的自動化鍍膜系統(tǒng)的硬件設計和軟件編程的相關內容做了比較詳細的介紹。第2篇重點介紹了液相沉積中有關電鍍的某些內容,其中包括電鍍金、銀、銅、鉻、鎳、鈀及其合金的鍍膜方法及工藝、技術難點、電鍍液配方及不合格產(chǎn)品的處理辦法。另外還對電鍍設備、電源及自動生產(chǎn)線的設計、應用做了較為全面的論述。第3篇介紹了鍍膜前處理工藝流程及其設備和電鍍的廢水處理方法及其設備。第4篇是膜層質量及檢測方面的內容?! 秾嵱缅兡ぜ夹g》不求內容完備,只求實用和創(chuàng)新。文字通俗易懂,有利于對基礎知識的理解、掌握與運用。內容新穎,收集了近些年來鍍膜技術中的新發(fā)明和新成果的一些內容。
書籍目錄
第1章 緒論??1.1 干式鍍膜(氣相沉積法)??1.1.1 物理氣相沉積鍍膜技術(PVD)??1.1.2 化學氣相沉積(CVD)鍍膜技術??1.2 濕式鍍膜(液相沉積法)??1.2.1 電鍍??1.2.2 陽極氧化??1.2.3 化學鍍??1.2.4 化學轉化膜處理??1.3 鍍膜技術的用途和應用??1.3.1 鍍膜技術在裝飾品方面的應用??1.3.2 鍍膜技術在刀具、模具等金屬切削加工工具方面的應用??1.3.3 鍍膜技術在建筑玻璃和汽車玻璃上的應用??1.3.4 鍍膜技術在平板顯示器中的應用1.3.5 鍍膜技術在太陽能利用方面的應用1.3.6 鍍膜技術在防偽技術中的應用??1.3.7 鍍膜技術在飛機防護涂層方面的應用??1.3.8 鍍膜技術在光學儀器中的應用??1.3.9 鍍膜技術在信息存儲領域中的應用1.3.10 鍍膜技術在傳感器方面的應用1.3.11 鍍膜技術在集成電路制造中的應用??第1篇 干式鍍膜——PVD?第2章 干式鍍膜技術的基礎知識——真空??2.1 真空的基礎知識2.2 真空容器——真空鍍膜室設計與計算2.3 真空的獲得2.4 真空測量2.5 真空系統(tǒng)的栓漏第3章 真空蒸發(fā)鍍膜?3.1 真空蒸發(fā)鍍膜工作原理3.2 幾種主要真空蒸發(fā)鍍膜技術3.3 真空蒸發(fā)鍍膜設備?第4章 濺射鍍膜4.1 濺射鍍膜的基本原則4.2 濺射鍍膜技術和種類及特點……第5章 真空離子鍍膜??第6章 物理氣相沉積鍍膜中幾種主要電源??第7章 PLC在PVD中的應用??第8章 部分PVD鍍膜工藝第2篇 濕式鍍膜——電鍍?第9章 電鍍的基礎知識??第10章 單金屬電鍍??第11章 合金電鍍??第12章 電鍍設備??第13章 電鍍電源??第3篇 鍍前、鍍后處理技術?第14章 鍍前處理技術??第15章 電鍍污水處理技術??第4篇 膜層質量及檢測?第16章 PVD膜層質量檢測??第17章 電鍍鍍層性能測試??參考文獻
章節(jié)摘錄
第1章 緒論 鍍膜的方法很多,分類方法也各不一樣。按膜層的形成方法來分類,可以分為干式鍍膜和濕式鍍膜?! 「墒藉兡な侵冈谡婵盏臈l件下,應用物理或化學的方法,將材料汽化成原子、分子或使其電離成離子,并通過氣相過程,在基體表面沉積一層具有特殊性能的薄膜技術,所以也稱為氣相沉積或真空鍍膜。干式鍍膜技術可以分為物理氣相沉積(Physical Vapor Cleposition,PVD)和化學氣相沉積(Chemical Vapor Cleposition,CVD)?! 袷藉兡な侵笇⒐ぜ糜陔娊赓|溶液中,通過化學、電化學的方法,使其表面形成鍍層,所以也有人稱為溶液法或液相沉積法?! ?.1 干式鍍膜(氣相沉積法) 1.1.1物理氣相沉積鍍膜技術(PVD) PVD主要的方法有真空蒸鍍(Vacuum evaporation)、濺射鍍膜(Vacuum sputterng)、離子鍍(Ion plating)?! ?.真空蒸鍍 真空蒸鍍是將鍍料在真空中加熱、蒸發(fā),使蒸發(fā)的原子或原子團在溫度較低的基板上析出,形成薄膜。這與水壺煮開水時,冒出的水蒸氣使玻璃窗蒙上一層模糊的水汽相似。它是利用電阻加熱,高頻感應加熱或高能束(電子束、激光束、離子束等)轟擊使鍍膜材料轉化為氣相而沉積到基體表面上的一種成熟的技術?! ‰娮杓訜岱ㄑb置便宜、操作簡單,廣泛用于Au、Ag、Cu、Ni、Cr等半導體材料及電阻材料成膜,除特殊材料之外,差不多都能滿足鍍膜要求。電子束蒸發(fā)法多用于制作像半導體工業(yè)那樣要求純度極高的膜和絕緣物的蒸發(fā)、AL的高速蒸鍍、高熔點物質的蒸鍍等。
編輯推薦
本書從實用的角度出發(fā),對鍍膜技術中最常用的干式鍍膜中的物理氣相沉積、濕式鍍膜(液相沉積)中的電鍍方面的知識做較為系統(tǒng)的介紹,不少內容是實際工作的經(jīng)驗總結,可以直接用于生產(chǎn)。本書是本行業(yè)工作人員及其他對鍍膜技術感興趣的人士了解鍍膜技術及應用的一本很好的入門書。
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