電容式微機(jī)械陀螺儀設(shè)計(jì)

內(nèi)容概要

本書系統(tǒng)地介紹了電容式微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、基于表面加工wafer 級(jí)真空封裝工藝，著重分析了陀螺儀中閉環(huán)自振蕩方法、角速率信號(hào)解調(diào)算法及電路實(shí)現(xiàn)，最后對(duì)微機(jī)械陀螺振蕩品質(zhì)因子、分辨率、工作帶寬、靈敏度和線性度等關(guān)鍵參數(shù)的測(cè)試方法作了詳細(xì)的分析和闡述。     本書可供高等院校有關(guān)專業(yè)作為研究生教材或參考書，也可供科研人員和工程技術(shù)人員作為技術(shù)參考書。

書籍目錄

第一章 緒論　1.1 微機(jī)械陀螺的技術(shù)分類　1.2 微機(jī)械陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀　　1.2.1 壓電石英陀螺　　1.2.2 壓電陶瓷陀螺　　1.2.3 硅微機(jī)械陀螺　1.3 電容式微機(jī)械陀螺的信號(hào)處理方法概述　　1.3.1 驅(qū)動(dòng)電路　　1.3.2 信號(hào)解調(diào)處理方法　1.4 電容式微機(jī)械陀螺中的技術(shù)難點(diǎn)　1.5 本書主要的研究?jī)?nèi)容　1.6 本書的組織和安排第二章 電容式微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與加工　2.1 電容式微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)　2.2 微機(jī)械陀螺振動(dòng)模態(tài)研究　　2.2.1 驅(qū)動(dòng)模態(tài)頻率的計(jì)算　　2.2.2 檢測(cè)模態(tài)頻率的計(jì)算　2.3 電容式硅微機(jī)械陀螺的結(jié)構(gòu)仿真　2.4 梳齒電容的計(jì)算　　2.4.1 驅(qū)動(dòng)模態(tài)的檢測(cè)電容　　2.4.2 檢測(cè)模態(tài)的檢測(cè)電容　2.5 檢測(cè)模態(tài)的電調(diào)諧頻率的計(jì)算　2.6 關(guān)鍵工藝的設(shè)計(jì)　　2.6.1 微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)加工流程　　2.6.2 微機(jī)械陀螺真空封裝罩子的加工工藝　　2.6.3 真空中硅玻璃鍵合工藝　本章小結(jié)第三章 電容式微機(jī)械陀螺信號(hào)處理方法的研究及仿真　3.1 電容式微機(jī)械陀螺閉環(huán)驅(qū)動(dòng)的研究　　3.1.1 上電閉環(huán)自振蕩的基本原理　　3.1.2 無自動(dòng)增益控制的閉環(huán)驅(qū)動(dòng)　　3.1.3 自動(dòng)增益控制的閉環(huán)驅(qū)動(dòng)　3.2 電容式微機(jī)械陀螺關(guān)鍵信號(hào)的推導(dǎo)　　3.2.1 靜電驅(qū)動(dòng)力　　3.2.2 運(yùn)動(dòng)質(zhì)量塊的振動(dòng)速度　　3.2.3 哥氏力引起的位移　3.3 電容式微機(jī)械陀螺角速率信號(hào)解調(diào)算法的推導(dǎo)　　3.3.1 信號(hào)解調(diào)的基本原理　　3.3.2 干擾信號(hào)對(duì)信號(hào)解調(diào)的影響　　3.3.3 高信噪比解調(diào)算法的研究　3.4 電容式微機(jī)械陀螺的系統(tǒng)仿真　　3.4.1 閉環(huán)驅(qū)動(dòng)過程的仿真　　3.4.2 角速率解調(diào)過程的仿真　　3.4.3 陀螺在沖擊環(huán)境中的模擬與仿真　本章小結(jié)第四章 電容式微機(jī)械陀螺接口電路的設(shè)計(jì)與仿真　4.1 電容式微機(jī)械陀螺前置放大電路的設(shè)計(jì)　　4.1.1 傳統(tǒng)的C／V轉(zhuǎn)換電路的設(shè)計(jì)與分析　　4.1.2 改進(jìn)的C／V轉(zhuǎn)換電路的設(shè)計(jì)與分析　　4.1.3 前置C／V轉(zhuǎn)換電路的抗驅(qū)動(dòng)信號(hào)干擾的設(shè)計(jì)　4.2 電容式微機(jī)械陀螺閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)　　4.2.1 高通濾波電路的設(shè)計(jì)　　4.2.2 相移電路的設(shè)計(jì)　　4.2.3 限幅電路的設(shè)計(jì)　　4.2.4 AGC自動(dòng)增益電路的設(shè)計(jì)　4.3 電容式微機(jī)械陀螺角速率解調(diào)電路的設(shè)計(jì)　　4.3.1 相位敏感解調(diào)電路的設(shè)計(jì)　　4.3.2 二階低通濾波電路的設(shè)計(jì)　本章小結(jié)第五章 電容式微機(jī)械陀螺的性能測(cè)試　5.1 電容式微機(jī)械陀螺品質(zhì)因子的測(cè)試　　5.1.1 品質(zhì)因子測(cè)試的基本原理　　5.1.2 靜電激勵(lì)一電容檢測(cè)法　　5.1.3 機(jī)械激勵(lì)一電容檢測(cè)法　　5.1.4 靜電激勵(lì)一位移特性間接檢測(cè)法　5.2 陀螺分辨率的測(cè)試　5.3 陀螺帶寬的測(cè)試　5.4 AGC靜態(tài)工作點(diǎn)的選取　5.5 陀螺工作狀態(tài)的測(cè)試　　5.5.1 閉環(huán)驅(qū)動(dòng)控制電路中工作狀態(tài)的測(cè)試　　5.5.2 信號(hào)解調(diào)電路中工作狀態(tài)的測(cè)試　5.6 靈敏度和線性度的測(cè)試　5.7 帶寬和靈敏度的優(yōu)化　本章小結(jié)附錄一 電容式微機(jī)械陀螺的電原理圖附錄二 電容式微機(jī)械陀螺的SIMULINK仿真的部分代碼參考文獻(xiàn)

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