微細加工技術(shù)

內(nèi)容概要

　　本書針對制造技術(shù)的最新進展與需求，以微米尺度零件的加工為主線，力求使讀者能較為準確地理解和掌握微機械與微細加工技術(shù)的基礎(chǔ)知識和常用微細加工方法的基本原理及應(yīng)用。主要內(nèi)容包括：微型機械與微細加工的基礎(chǔ)知識；微細切削加工;；半導(dǎo)體材料的微細加工技術(shù)；微細電加工等微細特種加工技術(shù)；高能束流微細特種加工技術(shù)；納米加工技術(shù)；生長型微細加工技術(shù)；典型微機械產(chǎn)品及其采用的微細加工技術(shù)等?！　”緯m合于研究生和高年級本科生及從事微細加工研究的教師和工程技術(shù)人員參考使用。也是相關(guān)人士了解最新微細加工技術(shù)的一本參考書。

書籍目錄

第1章　微型機械與微細加工概論/11.1　微機械及其特點/11.2　微細加工技術(shù)的概念及其特點/41.3　微細加工技術(shù)的分類/61.4　微細加工技術(shù)的應(yīng)用/91.5　發(fā)展微細加工技術(shù)的意義/15參考文獻/17第2章　微機械與微細加工理論基礎(chǔ)/182.1　微機械學(xué)/182.2　微電子學(xué)/332.3　微光學(xué)/372.4　分子裝配技術(shù)/392.5　微細加工機理/41參考文獻/4l第3章　微細切削加工技術(shù)/443.1　微切削加工機理與物理特性/443.2　微細車削加工技術(shù)/503.3　微細銑削加工技術(shù)/583.4　微細鉆削加工技術(shù)/653.5　微細沖壓加工/693.6　微細磨料噴射加工/7l3.7　微細切削加工工作環(huán)境/74參考文獻/75第4章　微細電加工技術(shù)/774.1　微細電加工技術(shù)概述/774.2　微細電火花加工的特點與實現(xiàn)條件/794.3　微細電極的在線制作與檢測/834.4　微細電火花加工中的脈沖電源與控制系統(tǒng)/904.5　微細電火花加工裝備/954.6　微細電火花銑削加工技術(shù)/1004.7　微細電火花線切割加工技術(shù)/1084.8　微細電化學(xué)加工技術(shù)/111參考文獻/117第5章　高能束流微細特種加工技術(shù)/1185.1　電子束微細加工技術(shù)/1185.2　離子束微細加工技術(shù)/1265.3　激光微細加工技術(shù)/136參考文獻/150第6章　半導(dǎo)體材料的微細加工技術(shù)/1526.1　集成電路的工藝基礎(chǔ)一一平面硅工藝/1526.2　薄膜成形技術(shù)/1546.3　摻雜技術(shù)/1596.4　光刻技術(shù)/1616.5　硅的體微加工技術(shù)/1636.6　硅的表面微加工技術(shù)/1716.7　鍵合技術(shù)/1736.8　非硅半導(dǎo)體的腐蝕技術(shù)/175參考文獻/176第7章　納米加工技術(shù)/1787.1　納米加工技術(shù)的特點/1787.2　掃描探針顯微鏡及其在納米加工中的應(yīng)用/1807.3　微制造中的LIGA技術(shù)/188參考文獻/197第8章　生長型微細加工技術(shù)/1998.1　化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)/1998.2　物理氣相沉積（PVD）技術(shù)/2048.3　離子束輔助鍍膜（IAC）技術(shù)/2058.4　高速燃氣噴涂技術(shù)/2078.5　化學(xué)鍍非晶態(tài)合金技術(shù)/2098.6　電火花沉積陶瓷層技術(shù)/2128.7　微弧氧化技術(shù)/2148.8　三維微結(jié)構(gòu)的沉積加工技術(shù)/2158.9　分子自組裝技術(shù)簡介/220參考文獻/x1第9章　典型零部件的微細加工/2229.1　微構(gòu)件及其微細加工技術(shù)/2229.2　微傳感器及其微細加工技術(shù)/2329.3　微渦輪機/2349.4　微型泵/2349.5　微機器人/235參考文獻/236

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