靜電懸浮控制系統(tǒng)

出版時間:2001-1  出版社:  作者:晏 磊 劉光軍著  

內(nèi)容概要

《靜電懸浮控制系統(tǒng)》包括球電極三維靜電力分析,球碗間隙納米級計算,變間隙電容傳感器設(shè)計,懸浮支承隨動控制,并行容錯分時分頻支承控制,靜電懸浮綜合技術(shù)與機(jī)電關(guān)系等。

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