微機電系統(tǒng)基礎(chǔ)

內(nèi)容概要

　　本書循序漸進，體系嚴密，在內(nèi)容組織上是一本教科書，已被美國一些著名大學采用。全書共分16章。第1、2章概括了基本傳感原理和制造方法；第3章討論了當今MEMS實踐中所必須掌握的電學和機械工程基本知識；第4～9章分別描述了靜電、熱、壓阻、壓電、磁敏感與執(zhí)行方法，及其相關(guān)的傳感器與執(zhí)行器；第10—11章詳細介紹了微制造中最常用的體微機械加工和表面微機械加工技術(shù)，而器件制造方法則插入到實例研究中；第12章討論了與聚合物有關(guān)的。MEMS制造技術(shù)；根據(jù)這些敏感與執(zhí)行方法以及制造方法，第13一15章選擇了MEMS主要應(yīng)用領(lǐng)域作為實例介紹，包括微流控應(yīng)用、用于掃描探針顯微術(shù)的器件、光MEMS。第16章介紹了工藝集成問題和項目管理問題?！　”緯m合于微機電系統(tǒng)（MEMS）、微電子、機械工程、儀器儀表等專業(yè)的高年級本科生作為教材，也適合于這些領(lǐng)域的研究生及科技人員參考。

作者簡介

　　Chang Liu（劉昶）于1995年在美國加州理工學院獲博士學位。1996年在美國伊利諾斯大學微電子實驗室作博士后，1997年成為伊利諾斯大學電氣與計算機工程系和機械與工業(yè)工程系聯(lián)合任命的助理教授，2003年獲得終身職位并任副教授?！　hang Liu在微機電系統(tǒng)MEMS領(lǐng)域研究已經(jīng)14年，發(fā)表120余篇國際期刊論文及會議論文．他的研究工作被廣泛引用。他為本科生和研究生開設(shè)了多門課程，包括MEMS、固體電子學、機電學和傳熱學。他因利用MEMS技術(shù)開發(fā)人工毛發(fā)細胞方面的工作．于1 998年獲得美國國家科學基金會的ICAREER獎。他目前擔任國際期刊JMEMS的編委和IEEE SenIsors Journal的副主編以及IEEE MEMS，IEEE Sensors等多種國際會議程序委員會委員。

書籍目錄

譯者序教師備忘錄前言第l章　緒論1.0　預(yù)覽1.1　MEMS研究發(fā)展史1.2　MEMS的本質(zhì)特征1.2.1　小型化1.2.2　微電子集成1.2.3　高精度的批量制造1.3　器件：傳感器和執(zhí)行器1.3.1　能量域和換能器1.3.2　傳感器1.3.3　執(zhí)行器總結(jié)習題參考文獻第2章　微制造導論2.O　預(yù)覽2.1　微制造綜述2.2　微電子制造工藝2.3　硅基MEMS工藝2.4　新材料和新制造工藝2.5　工藝中需考慮的因素總結(jié)習題參考文獻第3章　電學與機械學基本概念3.0　預(yù)覽3.1　半導體的電導率3.1.1　半導體材料3.1.2　載流子濃度的計算3.1.3　電導率和電阻率3.2　晶面和晶向3.3　應(yīng)力和應(yīng)變3.3.1　內(nèi)力分析：牛頓運動定律3.3.2　應(yīng)力和應(yīng)變的定義3.3.3　張應(yīng)力和張應(yīng)變之間的一般標量關(guān)系3.3.4　硅和相關(guān)薄膜的力學特性3.3.5　應(yīng)力一應(yīng)變的一般關(guān)系3.4　簡單負載條件下?lián)闲粤旱膹澢?.4.1　梁的類型3.4.2　純彎曲下的縱向應(yīng)變3.4.3　梁的撓度3.4.4　求解彈性形變常數(shù)3.5　扭轉(zhuǎn)變形3.6　本征應(yīng)力3.7　諧振頻率和品質(zhì)因素3.8　彈簧彈性常數(shù)和諧振頻率的有源調(diào)節(jié)3.9　推薦教科書清單總結(jié)習題參考文獻第4章　靜電敏感與執(zhí)行原理4.0　預(yù)覽4.1　靜電傳感器與執(zhí)行器概述4.2　平行板電容器4.2.1　平行板電容4.2.2　偏壓作用下靜電執(zhí)行器的平衡位置4.2.3平行板執(zhí)行器的吸合（pull—in）效應(yīng)4.3　平行板電容器的應(yīng)用4.3.1　慣性傳感器4.3.2　壓力傳感器4.3.3　流量傳感器4.3.4　觸覺傳感器4.3.5　平行板執(zhí)行器4.4　叉指電容器4.5　梳狀驅(qū)動器件的應(yīng)用4.5.1　慣性傳感器4.5.2　執(zhí)行器……第5章　熱敏感與執(zhí)行原理第6章　壓阻傳感器第7章　壓電敏感與執(zhí)行原理第8章　磁執(zhí)行器第9章　敏感與執(zhí)行原理總結(jié)第10章　體微機械加工與硅各向異性腐蝕第11章　表面微機械加工第12章　聚合物MEMS第13章　微流控學應(yīng)用第14章　掃描探針顯微鏡部件第15章　光MEMS第16章　MEMS技術(shù)組織與管理附錄A　材料特性參考文獻附錄B　梁與膜的常用力學公式

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