氣相沉積應(yīng)用技術(shù)

內(nèi)容概要

本書(shū)在第1篇中全面闡述了化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的技術(shù)基礎(chǔ)、技術(shù)原理、新的沉積技術(shù)、工藝過(guò)程、設(shè)備配套、膜層質(zhì)量檢測(cè)和分析。在第2篇中介紹了氣相沉積技術(shù)在工模具硬質(zhì)涂層、防護(hù)涂層、光學(xué)薄膜、建筑鍍膜玻璃、太陽(yáng)能利用、集成電路制造、信息存儲(chǔ)、顯示器件、飾品裝飾、塑料金屬化和柔性基材的卷繞薄膜產(chǎn)品等方面的應(yīng)用。本書(shū)內(nèi)容豐富新穎，力求緊密聯(lián)系實(shí)際。    本書(shū)可供從事氣相沉積技術(shù)的工程技術(shù)人員、科技工作者、在校師生和工人閱讀，也可以作為相關(guān)專業(yè)的參考書(shū)。

作者簡(jiǎn)介

王福貞，1960年畢業(yè)于北京科技大學(xué)(原北京鋼鐵學(xué)院)金相熱處理專業(yè)，現(xiàn)從北京聯(lián)合大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院退休。教授，北京有突出貢獻(xiàn)專家，享受國(guó)務(wù)院津貼專家。
    從1976年至今一直從事物理氣相沉積技術(shù)的工藝原理探討、沉積技術(shù)和設(shè)備研發(fā)。先后取得活性反應(yīng)離子鍍膜機(jī)、

書(shū)籍目錄

序1序2前言第1篇 氣相沉積技術(shù)基礎(chǔ)及各種氣相沉積技術(shù)  第1章 氣相沉積技術(shù)概述    1 氣相沉積技術(shù)分類    2 氣相沉積技術(shù)特點(diǎn)    3 氣相沉積技術(shù)應(yīng)用  第2章 化學(xué)氣相沉積技術(shù)    1 緒言    2 化學(xué)氣相沉積物理化學(xué)基礎(chǔ)    3 化學(xué)氣相沉積熱力學(xué)分析    4 化學(xué)氣相沉積反應(yīng)物質(zhì)源    5 化學(xué)氣相沉積涂層質(zhì)量影響因素    6 化學(xué)氣相沉積裝置    7 高溫化學(xué)氣相沉積技術(shù)    8 中溫化學(xué)氣相沉積(MT—CVD)技術(shù)    參考文獻(xiàn)  第3章 物理氣相沉積技術(shù)    1 物理氣相沉積技術(shù)概論    2  物理氣相沉積技術(shù)基礎(chǔ)    3 物理氣相沉積技術(shù)    參考文獻(xiàn)  第4章 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)    1 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)機(jī)理    2 等離子氣體產(chǎn)生過(guò)程及性質(zhì)    3 等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程    4 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積裝置    5 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝過(guò)程及特點(diǎn)    6 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積涂層組織特征    參考文獻(xiàn)  第5章 氣相沉積設(shè)備    1 化學(xué)氣相沉積設(shè)備系統(tǒng)    2 等離子體增強(qiáng)低溫化學(xué)氣相沉積設(shè)備    3 物理氣相沉積設(shè)備及配套系統(tǒng)    參考文獻(xiàn)  第6章 預(yù)處理主要輔助設(shè)備    1 清洗    2 刃口強(qiáng)化    3 噴砂    參考文獻(xiàn)  第7章 膜層質(zhì)量測(cè)試    1 膜層質(zhì)量測(cè)試內(nèi)容    2 性能檢驗(yàn)    3 膜層的微區(qū)檢測(cè)    參考文獻(xiàn)第2篇 氣相沉積技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域  第1章 氣相沉積技術(shù)在硬質(zhì)涂層中的應(yīng)用    1 硬質(zhì)涂層制品在機(jī)械工業(yè)中的應(yīng)用    2 新型硬質(zhì)涂層的發(fā)展趨勢(shì)    3 硬質(zhì)涂層制品應(yīng)用    4 不同硬質(zhì)涂層的實(shí)用沉積工藝技術(shù)    5 非金屬超硬涂層沉積技術(shù)復(fù)合涂層沉積技術(shù)及應(yīng)用     參考文獻(xiàn)  第2章 氣相沉積技術(shù)在防護(hù)涂層方面的應(yīng)用    1 防護(hù)涂層的作用    2 耐腐蝕涂層    3 熱障涂層    參考文獻(xiàn)  第3章 氣相沉積技術(shù)在光學(xué)薄膜領(lǐng)域中的應(yīng)用    1 光學(xué)薄膜的應(yīng)用領(lǐng)域    2 光學(xué)薄膜特性    3 光學(xué)薄膜的氣相沉積技術(shù)    參考文獻(xiàn)  第4章 氣相沉積技術(shù)在建筑鍍膜玻璃方面的應(yīng)用    1 建筑鍍膜玻璃的功能    2 普通玻璃的光學(xué)性能    3 鍍膜玻璃的遮陽(yáng)隔熱原理    4 智能窗玻璃    5 防霧防露和自清潔玻璃.    參考文獻(xiàn)  第5章 氣相沉積技術(shù)在太陽(yáng)能利用領(lǐng)域的應(yīng)用.    1 太陽(yáng)能——取之不盡的能源    2 太陽(yáng)能光一熱轉(zhuǎn)換    3 氣相沉積技術(shù)在太陽(yáng)能光.伏轉(zhuǎn)換領(lǐng)域中的應(yīng)用    4 太陽(yáng)能電池的應(yīng)用實(shí)例    參考文獻(xiàn)  第6章 氣相沉積技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用    1 集成電路高集成化發(fā)展方向    2 集成電路類型    3 集成電路組成    4 集成電路加工工藝    5 分立器件電路的加工    參考文獻(xiàn)  第7章 氣相沉積技術(shù)在信息顯示器件中的應(yīng)用    1 信息顯示器件的應(yīng)用    2 信息顯示器件的種類    3 平板顯示器件用薄膜    參考文獻(xiàn)  第8章 氣相沉積技術(shù)在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域的應(yīng)用    1 信息存儲(chǔ)技術(shù)的進(jìn)展    2 信息存儲(chǔ)的類型與存儲(chǔ)薄膜    3 超高密度信息存儲(chǔ)材料    4 納米區(qū)內(nèi)電荷存儲(chǔ)技術(shù)    參考文獻(xiàn)  第9章 氣相沉積技術(shù)在裝飾飾品上的應(yīng)用    1 裝飾品給人們五彩繽紛的生活    2 金屬基材裝飾膜的沉積    3 塑料件裝飾膜的沉積    4 真空卷繞鍍膜技術(shù)    參考文獻(xiàn)

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