離子束表面工程技術(shù)與應(yīng)用

內(nèi)容概要

　　《離子束表面工程技術(shù)與應(yīng)用》內(nèi)容主要包括離子束注入技術(shù)、離子束增強(qiáng)沉積技術(shù)、磁過濾離子束沉積技術(shù)、全方位離子注入技術(shù)、強(qiáng)脈沖離子束材料改性技術(shù)和離子束創(chuàng)建新型制膜工程等，著重給出了這些離子束技術(shù)的最新研究成果及其在工業(yè)上的廣泛應(yīng)用情況?！峨x子束表面工程技術(shù)與應(yīng)用》內(nèi)容系統(tǒng)全面，實(shí)用性強(qiáng)。　　《離子束表面工程技術(shù)與應(yīng)用》可供表面工程技術(shù)人員技術(shù)人員參考，也可供相關(guān)專業(yè)在校師生以及研究人員參考。

書籍目錄

前言第1章 離子束表面工程技術(shù)概述 1.1 離子束表面工程技術(shù)原理1.2 離子束注入的特點(diǎn)和局限性1.3 離子束表面工程技術(shù)的發(fā)展概況第2章 離子束注入技術(shù)2.1 離子束注入技術(shù)簡介2.2 非金屬離子注入2.3 金屬離子注入2.4 離子注入WC合金鋼2.5 離子注入改善TiN和TiC沉積膜特性2.6 長程離子注入2.7 雙注入2.8 共注入2.9 離子注入材料的性能改善2.10 離子注入工業(yè)應(yīng)用第3章 離子束增強(qiáng)沉積技術(shù)3.1 簡介3.2 金屬膜的制備和特性3.3 超硬陶瓷膜3.4 類金剛石膜3.5 固體滑潤膜3.6 光學(xué)膜3.7 c-BN膜的制備和特性3.8 β-C3N4膜3.9 離子增強(qiáng)沉積的工業(yè)應(yīng)用第4章 磁過濾離子束沉積技術(shù)4.1 簡介4.2 磁過濾離子束金剛石薄膜沉積的應(yīng)用4.3 Ti沉積改善H13鋼抗腐蝕性能4.4 Ti+C+N共沉積膜的制備及其性能改善4.5 聚合物表面沉積4.6 Mo+C和Ti+C共沉積MoC膜和TiC膜工藝和特性4.7 Ti+Fe+C三元共沉積膜的特性 4.8 靶加熱NbN沉積膜的特性4.9 高壓負(fù)脈沖沉積薄膜的特性4.10 超厚膜的形成4.11 離子束沉積4.12 降低膜的內(nèi)應(yīng)力途徑4.13 增強(qiáng)膜與基體粘合強(qiáng)度的途徑4.14 DLC膜的制備、特性和應(yīng)用4.15 磁過濾制膜特性和應(yīng)用綜述第5章 全方位離子注入技術(shù)第6章 強(qiáng)脈沖離子束材料改性技術(shù)第7章 離子束創(chuàng)建新型制膜工程第8章 離子束技術(shù)發(fā)展展望參考文獻(xiàn)

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