精密加工技術實用手冊

內(nèi)容概要

　　本書分5 篇共14章，內(nèi)容包括總論、精密加工常用材料、金剛石刀具超精密車削、精密磨削和超精密磨削、光整加工、超精密加工機床、精密特種加工、微細加工技術、微型機械與微型機電系統(tǒng)等。

書籍目錄

前言總論1 精密加工和超精密加工范疇、特點、分類1.1 精密加工和超精密加工范疇1.2 精密加工和超精密加工的特點1.3 精密加工和超精密加工方法及其分類2 精密加工和超精密加工機理及工藝原則2.1 加工概念的擴展2.2 進化加工原則2.3 微量加工理論3 精密加工和超精密加工的體系結(jié)構(gòu)3.1 精密加工系統(tǒng)工程3.2 影響精密加工和超精密加工的因素4 精密加工和超精密加工的形成和發(fā)展4.1 精密加工和超精密加工的形成4.2 精密加工和超精密加工的需求4.3 精密加工和超精密加工的技術地位和作用4.4 精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢和技術前沿第1篇 精密切削、磨削及其機床第1章 精密加工常用材料.1.1 精密加工對材料的要求1.2 精密加工對材料使用性能的要求1.3 精密加工對材料工藝性能的要求2 達到精密加工材料性能的工藝措施2.1 熱處理過程中的組織性能變化2.2 改善加工性能的熱處理2.3 提高力學性能的熱處理2.4 提高耐磨性、耐腐蝕性的表面處理技術2.5 消除應力、穩(wěn)定組織的熱處理3 精密加工常用金屬材料3.1 碳素鋼和合金鋼3.2 鑄鐵3.3 有色金屬4 常用非金屬材料4.1 工程陶瓷4.2 工程塑料4.3 復合材料4.4 其他材料第2章 金剛石刀具超精密車削1 金剛石刀具超精密車削機理1.1 切削厚度與材料切應力的關系1.2 材料缺陷及其對超精密車削的影響1.3 加工表面的形成與質(zhì)量2 金剛石刀具的設計和刃磨2.1 超精密車削對刀具的要求2.2 金剛石的性能2.3 金剛石的結(jié)構(gòu)2.4 金剛石晶體的面網(wǎng)2.5 金剛石晶體各晶向的性能2.6 金剛石原料的選取2.7 金剛石晶體的定向2.8 金剛石刀具的設計2.9 金剛石刀具的刃磨3 影響金剛石超精密車削的因素3.1 金剛石刀具3.2 被加工材料3.3 超精密車床3.4 工作環(huán)境3.5 測量技術4 金剛石刀具超精密車削工藝4.1 刀具的磨損和耐用度4.2 切削速度的選擇4.3 積屑瘤的生成規(guī)律4.4 刀具鋒銳度對切削變形和加工表面質(zhì)量的影響4.5 進給量和修光刃對加工表面粗糙度的影響5 金剛石刀具超精密車削的應用及其發(fā)展第3章 精密磨削和超精密磨削1 概述1.1 精密和超精密磨料加工方法分類1.2 精密磨削和超精密磨削磨料1.3 精密磨具和超精密磨削磨具2 普通磨料砂輪精密磨削2.1 精密磨削及其機理2.2 精密磨削砂輪選擇2.3 精密磨床2.4 精密磨削時的砂輪修整2.5 精密磨削時的磨削用量2.6 精密磨削時的砂輪平衡3 超硬磨料砂輪精密磨削3.1 超硬磨料砂輪磨削特點及應用范圍3.2 金剛石微粉砂輪精密磨削3.3 超硬磨料砂輪磨床3.4 超硬磨料砂輪精密磨削工藝3.5 超硬磨料砂輪修整4 超精密磨削4.1 超精密磨削的概念、特點和應用4.2 超精密磨削機理4.3 超精密磨床4.4 超精密磨削工藝5 精密和超精密砂帶磨削5.1 砂帶磨削方式、特點和應用范圍5.2 砂帶磨削加工機理5.3 精密砂帶磨床和砂帶磨削頭架5.4 精密砂帶磨削工藝第4章 光整加工1 光整加工的特點及類型2 研磨2.1 研磨特點和分類2.2 研磨機理和運動軌跡2.3 研具2.4 研磨劑2.5 研磨工藝參數(shù)2.6 研磨方法與研磨實例2.7 研磨的常見故障及排除方法3 拋光3.1 拋光機理與加工要素3.2 拋光輪3.3 拋光劑3.4 拋光工藝參數(shù)3.5 影響拋光表面質(zhì)量的因素4 珩磨4.1 珩磨原理及工藝特點4.2 珩磨頭4.3 工藝參數(shù)的選擇4.4 珩磨的切削過程4.5 珩磨液4.6 特種珩磨工藝5 超精加工5.1 超精加工原理及特點5.2 加工機理5.3 超精加工工藝參數(shù)與切削液5.4 超精加工頭和超精加工油石5.5 輪式超精磨5.6 無心外圓超精加工6 新型光整加工方法6.1 機械化學研磨6.2 磁力研磨6.3 非接觸研磨6.4 浮動拋光6.5 光合拋光第5章 超精密加工機床1 概述1.1 超精密機床發(fā)展現(xiàn)狀1.2 超精密機床的發(fā)展趨勢2 超精密加工機床的設計2.1 對超精密機床的要求和設計原則2.2 超精密機床的分類2.3 超精密機床的基本問題3 超精密機床的基礎元部件和結(jié)構(gòu)3.1 超精密機床的總體布局3.2 精密主軸部件3.3 床身和精密導軌部件3.4 微量進給裝置3.5 精密定位檢測元件4 典型超精密機床介紹4.1 半球車床4.2 半殼體車床4.3 moore車床4.4 r-θ車床4.5 2m鏡面車床4.6 lodtm大型光學金剛石車床4.7 dtm-3型大型超精密車床4.8 msg-325型超精密車床4.9 oagm 2500大型超精密車床4.10 ahnio型高效專用車削、磨削超精密機床4.11 超精密銑床第2篇 精密特種加工第6章 精密特種加工1 概述1.1 特種加工含義1.2 特種加工方法的種類1.3 特種加工的特點1.4 特種加工技術的應用范圍2 電火花加工2.1 電火花加工的基本原理、特點及分類2.2 電火花加工的基本規(guī)律2.3 電火花成形加工設備2.4 工具電極2.5 電火花穿孔成形加工工藝3 電火花線切割加工3.1 電火花線切割加工原理原理、分類、特點及應用范圍3.2 電火花線切割加工設備3.3 電極絲3.4 電火花線切割工藝4 電解加工4.1 電解加工基本原理、特點及應用4.2 電解加工中的基本規(guī)律4.3 電解加工機床4.4 電解質(zhì)溶液4.5 電解加工工藝方法4.6 電解磨削4.7 電鍍加工5 電子束加工5.1 電子束的熱效應及其加工5.2 電子束的化學效應及其加工5.3 電子束加工裝置5.4 電子束加工的特點及應用6 離子束加工6.1 離子束的力效應及濺射現(xiàn)象6.2 離子束加工方法6.3 離子束加工裝置6.4 離子束加工的特點及應用7 激光束加工7.1 激光的產(chǎn)生過程及特性7.2 激光束加工機理7.3 激光束加工方法7.4 激光束加工設備7.5 激光束加工的特點及應用8 光刻加工8.1 工作原版制作8.2 光刻9 超聲加工9.1 超聲加工的基本原理和特點9.2 超聲加工設備9.3 超聲加工工藝9.4 超聲加工的應用第3篇 微細加工與微型機械第7章 微細加工技術1 半導體微細加工技術1.1 氧化、摻雜與沉積1.2 刻蝕1.3 加工實例2 liga工藝3 特點微細加工技術3.1 微細電火花加工3.2 光成形微細加工3.3 其他微細加工方法4 粘接裝配技術4.1 粘接技術4.2 微操作裝配技術第8章 微型機械與微型機電系統(tǒng)1 概述2 微型傳感器2.1 微型壓力和流量傳感器2.2 微型加速度傳感器2.3 微型陀螺儀3 微型致動器3.1 微型旋轉(zhuǎn)/角位移致動器3.2 微型直線/振動型致動器4 微量流體控制器件與系統(tǒng)4.1 微型閥4.2 微型泵4.3 微量流體控制系統(tǒng)第4篇 精密測量和質(zhì)量保證第9章 精密測量技術1 精密測量原理1.1 測量的一般概念1.2 精密測量原理1.3 制定測量方案時應考慮的若干因素2 典型幾何量的測量方法與儀器2.1 常見的幾何量測量儀器2.2 軸類零件的測量2.3 孔類零件的測量2.4 錐度測量2.5 螺旋線的測量2.6 漸開線的測量3 典型物理量的精密測量方法與儀器3.1 常用的力學性能測試3.2 振動性能檢測4 精密測量的精度分析4.1 測量誤差的來源分析4.2 評定測量精度的兩個綜合性指標4.3 精密測量中的誤差理論5 典型精密測量系統(tǒng)簡介5.1 雙頻激光外差干涉儀及應用5.2 圓度儀及圓度測量5.3 三坐標測量機5.4 莫爾條紋技術第10章 微尺寸測量技術1 微小尺寸測量的概念和特點2 微位移的測量2.1 光干涉法微位移的測量2.2 外差干涉輪廓測量3 平面度和表面粗糙度的測量3.1 平面度誤差的測量和數(shù)據(jù)處理3.2 表面粗糙度的測量及儀器4 微細圖形尺寸的測量4.1 比較測量4.2 直接測量5 臺階、膜厚的測量及其他5.1 臺階測量5.2 膜層厚度測量第11章 微位移技術1 概述1.1 微位移機構(gòu)的分類1.2 微位移系統(tǒng)的應用2 微位移機構(gòu)的原理2.1 壓電、電致伸縮器件2.2 電磁驅(qū)動器件2.3 電熱式微位移機構(gòu)2.4 機械式微位移機構(gòu)3 柔性鉸鏈3.1 柔性鉸鏈的類型及特點3.2 柔性鉸鏈的設計4 精密微動工作臺的設計及其特性分析4.1 精密微動工作臺的設計要求4.2 精密微動工作臺設計中的幾個問題4.3 精密微動工作臺的設計5 常用的微動工作臺簡介5.1 柔性支承-壓電或電致伸縮微位移驅(qū)動器驅(qū)動的微動工作臺5.2 平行彈簧導軌5.3 滾動導軌-壓電器件驅(qū)動5.4 氣浮導軌第12章 誤差的在線檢測與補償技術1 概述1.1 先進制造技術及其發(fā)展1.2 先進制造系統(tǒng)中的質(zhì)量監(jiān)控技術1.3 影響加工精度的因素1.4 保證加工精度的途徑2 誤差檢測技術2.1 誤差檢測技術簡述2.2 位稱量的檢測2.3 機械加工3 誤差補償技術3.1 幾何誤差的補償3.2 熱誤差的補償3.3 機床誤差的其他補償方法4 在線檢測與補償系統(tǒng)舉例4.1 阿貝誤差實時修正系統(tǒng)4.2 機床熱誤差的測量與補償?shù)?3章 精密和超精密加工的支持環(huán)境1 空氣的環(huán)境和熱環(huán)境1.1 空氣環(huán)境1.2 熱環(huán)境1.3 潔凈室1.4 分層次的局部環(huán)境2 振動環(huán)境2.1 振動干擾的影響2.2 振動干擾的消除2.3 隔振器的隔振原理2.4 隔振元器件3 噪聲環(huán)境3.1 噪聲及其影響3.2 噪聲源3.3 噪聲控制4 其他環(huán)境4.1 光環(huán)境4.2 靜電環(huán)境5 精密和超精密加工的環(huán)境設施第5篇 典型精密元件加工第14章 精密基準件加工1 精密平板和直角尺加工1.1 精密平板的加工1.2 精密直角尺的加工2 精密分度板（盤）加工2.1 精密分度板的技術要求2.2 精密分度板的加工工藝2.3 精密分度方法3 精密球加工3.1 球面研磨原理3.2 四軸自動球面研磨原理參考文獻

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