動(dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)

內(nèi)容概要

　　本書(shū)以動(dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）為主要對(duì)象，介紹其相關(guān)的功能材料、設(shè)計(jì)方法、制造工藝以及控制方法。全書(shū)共6章，主要內(nèi)容包括：動(dòng)態(tài)
MEMS主要技術(shù)領(lǐng)域的簡(jiǎn)況；動(dòng)態(tài)MEMS中常用的功能材料及其制備方法；動(dòng)態(tài)MEMS器件的主要設(shè)計(jì)方法及其發(fā)展現(xiàn)狀；動(dòng)態(tài)MEMS的制造工藝，常見(jiàn)失效模式及其克服方法；動(dòng)態(tài)MEMS的控制理論基礎(chǔ)、控制技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀、控制實(shí)驗(yàn)方法等方面的論述；典型動(dòng)態(tài)MEMS系統(tǒng)剖析。
《動(dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)》可供材料類(lèi)、機(jī)電工程類(lèi)、自動(dòng)控制類(lèi)、儀器科學(xué)類(lèi)等相關(guān)專(zhuān)業(yè)的高年級(jí)本科生和研究生作為教材使用，也可供從事MEMS功能材料、
MEMS器件設(shè)計(jì)、MEMS制造工藝和MEMS控制技術(shù)研究的科技人員參考。

書(shū)籍目錄

前言
第1章  緒論
  1.1  引言
  1.2  MEMS的基本特征和主要技術(shù)領(lǐng)域
  1.3  動(dòng)態(tài)MEMS中的常用材料
  1.4  動(dòng)態(tài)MEMS的設(shè)計(jì)方法簡(jiǎn)介
  1.5  動(dòng)態(tài)MEMS的制造技術(shù)簡(jiǎn)介
  1.6  動(dòng)態(tài)MEMS的控制技術(shù)及其發(fā)展概況
  1.7  MEMS的應(yīng)用前景
  參考文獻(xiàn)
第2章  動(dòng)態(tài)MEMS中的功能材料與制備方法
  2.1  引言
  2.2  動(dòng)態(tài)MEMS壓電材料
  2.3  動(dòng)態(tài)MEMS磁致伸縮材料
  2.4  動(dòng)態(tài)MEMS形狀記憶合金材料
  2.5  動(dòng)態(tài)MEMS智能高分子材料
  參考文獻(xiàn)
第3章  動(dòng)態(tài)MEMS的設(shè)計(jì)理論與設(shè)計(jì)方法
  3.1  引言
  3.2  分布式全柔性微機(jī)構(gòu)的拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)方法
  3.3  動(dòng)態(tài)MEMS的可靠性設(shè)計(jì)方法
  3.4  電熱微致動(dòng)器的魯棒優(yōu)化設(shè)計(jì)
  3.5  可變電容靜電微電機(jī)的優(yōu)化設(shè)計(jì)
  3.6  動(dòng)態(tài)MEMS設(shè)計(jì)理論的發(fā)展展望
  參考文獻(xiàn)
第4章  動(dòng)態(tài)MEMS的制造技術(shù)
  4.1  MEMS的制造技術(shù)簡(jiǎn)介
  4.2  薄膜材料制備技術(shù)
  4.3  光刻技術(shù)
  4.4  刻蝕技術(shù)
  4.5  鍵合工藝技術(shù)
  4.6  MEMS制造中常見(jiàn)的失效模式與防止方法
  參考文獻(xiàn)
第5章  動(dòng)態(tài)MEMS的建模與控制技術(shù)
  5.1  引言
  5.2  典型動(dòng)態(tài)MEMS的動(dòng)力學(xué)模型
  5.3  動(dòng)態(tài)MEMS的非線性特征及其應(yīng)用
  5.4  動(dòng)態(tài)MEMS控制技術(shù)的理論基礎(chǔ)
  5.5  動(dòng)態(tài)MEMS的控制器設(shè)計(jì)
  5.6  動(dòng)態(tài)MEMS的控制技術(shù)實(shí)驗(yàn)方法
  參考文獻(xiàn)
第6章  典型動(dòng)態(tài)MEMS剖析
  6.1  壓電微致動(dòng)器的電荷驅(qū)動(dòng)控制
  6.2  壓電微電機(jī)
  6.3  旋轉(zhuǎn)式靜電微致動(dòng)器
  6.4  PZT微致動(dòng)器的制備
  參考文獻(xiàn)

編輯推薦

　　《動(dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)：理論與應(yīng)用》以動(dòng)態(tài)MEMS為主要對(duì)象，從功能材料的制備、設(shè)計(jì)方法、制造工藝與失效模式分析、建模與控制方法以及系統(tǒng)應(yīng)用的角度，較深入地介紹了當(dāng)前國(guó)內(nèi)外的一些主要研究成果?！秳?dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)：理論與應(yīng)用》主要內(nèi)容取材于作者所在課題組近年來(lái)的一些科研成果，同時(shí)也對(duì)動(dòng)態(tài)MEMS所涵蓋專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域國(guó)內(nèi)外的主流前沿技術(shù)進(jìn)行系統(tǒng)歸納，使讀者能在較短時(shí)間內(nèi)對(duì)動(dòng)態(tài)MEMS的主要技術(shù)領(lǐng)域和前沿研究方向有所了解，并從中選擇自己感興趣的主題進(jìn)一步開(kāi)展研究?！秳?dòng)態(tài)微機(jī)電系統(tǒng)：理論與應(yīng)用》內(nèi)容安排力求深入淺出，引文詳實(shí)豐富，適合作為初涉本領(lǐng)域的研究生教材，也可供具有一定研究基礎(chǔ)的讀者參考。

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