鐵電薄膜材料及其應(yīng)用

內(nèi)容概要

鐵電薄膜是一類重要的功能性薄膜材料。本書(shū)系統(tǒng)介紹了鐵電薄膜的概念、制備方法、結(jié)構(gòu)、電性能和應(yīng)用。全書(shū)共分6章：第1章介紹鐵電體和薄膜的概念、分類；第2章介紹溶膠一凝膠法、磁控濺射法、脈沖激光沉積法、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法這四種制備鐵電薄膜方法的歷史、原理、裝置、工藝參數(shù)、優(yōu)缺點(diǎn)；第3章介紹鈣鈦礦型、鈮酸鋰型、鎢青銅型、TGS型、KDP型、羅息鹽、鐵電液晶、鐵電聚合物幾種主要結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)，重點(diǎn)在鈣鈦礦結(jié)構(gòu)；第4章介紹電疇的概念、表征方法、類型、尺寸和極化反轉(zhuǎn)；第5章介紹鐵電薄膜的介電性能、壓電性、熱釋電性、鐵電性，重點(diǎn)在鐵電性和介電性能；第6章介紹鐵電薄膜的應(yīng)用。    本書(shū)可供從事鐵電薄膜材料及器件研究的科技人員參考，也可作為材料學(xué)、材料物理與化學(xué)、微電子學(xué)與固體電子學(xué)、凝聚態(tài)物理等專業(yè)教師和研究生的教學(xué)用書(shū)。

書(shū)籍目錄

前言第1章 引言  1.1 鐵電體    1.1.1 自發(fā)極化    1.1.2 電滯回線    1.1.3 鐵電體的分類    1.1.4 發(fā)展歷史和現(xiàn)狀  1.2 薄膜    1.2.1 概念    1.2.2 分類  1.3 內(nèi)容安排  參考文獻(xiàn)第2章 鐵電薄膜的制備方法  2.1 溶膠一凝膠法    2.1.1 歷史    2.1.2 原理    2.1.3 工藝過(guò)程    2.1.4 特點(diǎn)    2.1.5 制備的材料的鐵電性能  2.2 磁控濺射法    2.2.1 歷史    2.2.2 原理    2.2.3 多工位平面磁控濺射    2.2.4 特點(diǎn)    2.2.5 制備的材料的鐵電性能  2.3 脈沖激光沉積法    2.3.1 歷史    2.3.2 原理    2.3.3 裝置    2.3.4 特點(diǎn)    2.3.5 工藝參數(shù)的影響    2.3.6 制備的材料的鐵電性能  2.4 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積法    2.4.1 歷史    2.4.2 特點(diǎn)    2.4.3 裝置    2.4.4 工藝參數(shù)的影響    2.4.5 制備的材料的鐵電性能  參考文獻(xiàn)第3章 鐵電薄膜的晶體結(jié)構(gòu)  3.1 鈣鈦礦型    3.1.1 鈦酸鋇系列    3.1.2 鈦酸鉛系列    3.1.3 鉭酸鍶鉍    3.1.4 鈦酸鉍  3.2 鈮酸鋰型    3.2.1 鈮酸鋰    3.2.2 鉭酸鋰  3.3 鎢青銅型    3.3.1 偏鈮酸鉛    3.3.2 鈮酸鍶鋇  3.4 KDP型  3.5 TGS型  3.6 羅息鹽  3.7 鐵電液晶    3.7.1 結(jié)構(gòu)    3.7.2 自發(fā)極化  3.8 鐵電聚合物    3.8.1 聚偏氟乙烯    3.8.2 奇數(shù)尼龍  參考文獻(xiàn)第4章 電疇  4.1 概念  4.2 表征方法    4.2.1 表面修改法  ……第5章 鐵電薄膜的電性能第6章 鐵電薄膜的應(yīng)用參考文獻(xiàn)

章節(jié)摘錄

　　第2章　鐵電薄膜的制備方法　　自20世紀(jì)50年代人們開(kāi)始研究鐵電薄膜，至今已有幾十年的歷史，但由于受到薄膜制備技術(shù)的限制，研究一直進(jìn)展緩慢。直到20世紀(jì)80年代，薄膜制備技術(shù)取得了一系列的突破，許多物理和化學(xué)方法用于制備鐵電薄膜，掃除了鐵電材料與半導(dǎo)體工藝兼容等技術(shù)障礙，因而鐵電薄膜材料得到了飛速的發(fā)展?！　∧壳埃F電薄膜的制備方法主要有溶膠一凝膠（sol—gel）法、磁控濺射法、脈沖激光沉積（PLD）法、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積（MOCVD）法四種?！　?.1 溶膠-凝膠法　　2.1.1 歷史　　1846年，Ebelmen首先開(kāi)展溶膠一凝膠法制備材料的研究。20世紀(jì)30年代，Geffcken利用金屬醇鹽水解制備出了氧化物薄膜，證實(shí)了溶膠一凝膠法的可行性。直到1971年德國(guó)學(xué)者Dislich利用此法制備出多組分玻璃之后，溶膠一凝膠法才引起材料學(xué)家的廣泛關(guān)注，并迅速發(fā)展起來(lái)。從20世紀(jì)80年代初期開(kāi)始，溶膠一凝膠法被廣泛地應(yīng)用于鐵電材料、超導(dǎo)材料、光電材料等的粉體、薄膜制備?！　?.1.2 原理　　溶膠一凝膠法是指有機(jī)金屬化合物或無(wú)機(jī)鹽經(jīng)過(guò)溶液、溶膠、凝膠而固化，再經(jīng)熱處理而成為氧化物或其他固體化合物的方法。

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