等離子體放電原理與材料處理

內容概要

本書全面深入地介紹等離子體物理和化學的基本原理，以及工業(yè)等離子體材料處理的原理，并應用基本理論分析各種常見等離子體源的放電狀態(tài)。書中還介紹半導體材料的刻蝕、薄膜沉積，離子注入等低溫等離子體在材料處理方面的應用，反映本領域的最新研究進展。全書共18章，內容包括等離子體的基礎知識、等離子體放電過程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放電、波加熱的氣體放電、直流放電、刻蝕、沉積與注入、塵埃等離子體，以及氣體放電的動理論等。    本書可供等離子體物理領域的研究生、技術人員，以及微納電子領域的科技研發(fā)人員參考學習。

作者簡介

邁克爾·A·力伯曼，博士，加利福尼亞大學伯克利分校電子工程研究生院教授，曾發(fā)表170多篇有關等離子體、等離子體材料處理和非線性動力學方面的研究論文，而且同里登伯格教授合著有Regular and Stochastic Motion和Regular and Chaotic Dynamics（第二版）。

書籍目錄

第1章　概述　1.1　材料處理　1.2　等離子體和鞘層　　1.2.1　等離子體　　　1.2.2　鞘層　　1.3　放電　　1.3.1　射頻二極放電系統(tǒng)　　1.3.2　高密度等離子體源　1.4　符號和單位第2章　等離子體的基本方程和平衡態(tài)性質　2.1　引言　2.2　場方程、電流和電壓　　2.2.1　麥克斯韋方程組　2.3　守恒方程　　2.3.1　玻爾茲曼方程　　2.3.2　宏觀量　　2.3.3　粒子數(shù)守恒方程　　　2.3.4　動量守恒方程　　2.3.5　能量守恒方程　　2.3.6　小結　2.4　平衡態(tài)性質　　2.4.1　玻爾茲曼關系式　　2.4.2　德拜長度　　2.4.3　準電中性　習題第3章　原子碰撞　3.1　基本概念　　3.1.1　彈性和非彈性碰撞　　3.1.2　碰撞參數(shù)　　3.1.3　微分散射截面　3.2　碰撞動力學　　3.2.1  質心坐標系  　　3.2.2  能量轉移  　　3.2.3  小角度散射  　3.3  彈性散射  　　3.3.1  庫侖碰撞  　　3.3.2  極化散射  　3.4  非彈性碰撞  　　3.4.1  原子能級  　　3.4.2  電偶極輻射和亞穩(wěn)態(tài)原子　　3.4.3  電子碰撞電離截面　　3.4.4  電子碰撞激發(fā)截面　　3.4.5  離子一原子電荷轉移 　　3.4.6  離子一原子碰撞電離 　3.5  求分布函數(shù)下的平均值和表面效應　　3.5.1  麥克斯韋分布下的平均值　　3.5.2  每產(chǎn)生一個電子一離子對所造成的能量損失　　3.5.3  表面效應　習題第4章  等離子體動力學　4.1  基本運動　　4.1.1  在均勻常場中的運動　　4.1.2  E×B漂移　　4.1.3  能量守恒　4.2  非磁化等離子體動力學　　4.2.1  等離子體振蕩　　4.2.2  介電常數(shù)和電導率　　4.2.3  歐姆加熱　　4.2.4  電磁波　　4.2.5  靜電波　4.3  導向中心運動　　4.3.1  平行力　　4.3.2  磁矩的絕熱不變性　　4.3.3  沿磁力線運動產(chǎn)生的漂移（曲率漂移）　　4.3.4  由回旋運動產(chǎn)生的漂移（梯度漂移）　　4.3.5　極化漂移……第5章　擴散和輸運第6章　直流鞘層第7章　化學反應和平衡第8章　分子磁撞第9章　化學動力學與表面過程第10章　放電過程中的粒子平衡和能量平衡第11章　容性放電第12章　感性放電第13章　波加熱的氣體放電第14章　直流放電第15章　刻蝕第16章　沉積與注入第17章　塵埃等離子第18章　氣體放電的動理論附錄A　碰撞動力學附錄B　碰撞積分附錄C　變遷移率模型中的擴散方程的解參考文獻

編輯推薦

《等離子體放電原理與材料處理》可供等離子體物理領域的研究生、技術人員，以及微納電子領域的科技研發(fā)人員參考學習。

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