納米CMOS器件

出版時(shí)間:2004-1  出版社:科學(xué)出版社  作者:甘學(xué)溫 編  

內(nèi)容概要

《納米CMOS器件》介紹了微電子技術(shù)中的超深亞微米及納米器件的物理、工藝和器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)等問題。

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