出版時間:2004-1 出版社:科學出版社 作者:甘學溫 編
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《納米CMOS器件》介紹了微電子技術(shù)中的超深亞微米及納米器件的物理、工藝和器件結(jié)構(gòu)設(shè)計等問題。
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