薄膜生長(zhǎng)

內(nèi)容概要

　　《薄膜生長(zhǎng)/中國(guó)科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》集中介紹了薄膜科學(xué)中的關(guān)鍵部分——薄膜生長(zhǎng)。全書由15章五個(gè)方面的內(nèi)容組成：第一至四章主要從薄膜的角度介紹相平衡和晶體表面原子結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)知識(shí)。第五至七章主要介紹薄膜中的缺陷和擴(kuò)散，第八、九章主要介紹薄膜生長(zhǎng)的三種模式和成核長(zhǎng)大動(dòng)力學(xué)。第十至十三章主要介紹金屬薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜的生長(zhǎng)和生長(zhǎng)中出現(xiàn)的分形現(xiàn)象。第十四、十五章介紹薄膜制備和研究的各種方法。　　《薄膜生長(zhǎng)/中國(guó)科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》不僅系統(tǒng)地介紹了有關(guān)薄膜生長(zhǎng)的固體物理學(xué)知識(shí)，而且介紹了薄膜生長(zhǎng)的前沿進(jìn)展和薄膜檢測(cè)的各種先進(jìn)方法?！　　侗∧どL(zhǎng)/中國(guó)科學(xué)院研究生教學(xué)叢書》可作為固體物理、材料科學(xué)專業(yè)的研究生教學(xué)用書，也可供從事薄膜研制和生產(chǎn)的科技人員參考。

書籍目錄

第一章 相平衡和界面相1.1 相平衡1.2 元素和合金的相圖1.3 固溶體的能量1.4 固溶體的組態(tài)腦1.5 界面相1.6 界面曲率半徑的影響1.7 晶體表面能、界面能和黏附能1.8 固體表面張力的測(cè)定方法1.9 表面能對(duì)薄膜穩(wěn)定性的影響參考文獻(xiàn)第二章 晶體和晶體表面的對(duì)稱性2.1 晶體的對(duì)稱性2.2 晶體表面的對(duì)稱性2.3 晶面間距和晶列間距公式2.4 倒易點(diǎn)陣參考文獻(xiàn)第三章 晶體表面原子結(jié)構(gòu)3.1 晶體表面的原子結(jié)構(gòu)3.2 表面原子的配位數(shù)3.3 表面的臺(tái)面-臺(tái)階-扭折（TLK）結(jié)構(gòu)3.4 鄰晶面上原子的近鄰數(shù)3.5 晶體表面能的各向異性3.6 臺(tái)階和臺(tái)面的粗糙化參考文獻(xiàn)第四章 再構(gòu)表面和吸附表面4.1 再構(gòu)表面和吸附表面結(jié)構(gòu)的標(biāo)記4.2 半導(dǎo)體再構(gòu)表面結(jié)構(gòu)4.3 金屬再構(gòu)表面結(jié)構(gòu)4.4 吸附表面結(jié)構(gòu)4.5 表面相變參考文獻(xiàn)第五章 薄膜中的晶體缺陷5.1 密堆積金屬申的點(diǎn)缺陷5.2 半導(dǎo)體中的點(diǎn)缺陷5.3 表面點(diǎn)缺陷5.4 位錯(cuò)和層錯(cuò)5.5 孿晶界和其他面缺陷參考文獻(xiàn)第六章 外延薄膜中缺陷的形成過程6.1 晶格常數(shù)和熱膨脹系數(shù)的影響6.2 異質(zhì)外延薄膜中的應(yīng)變6.3 外延薄膜中的錯(cuò)配位錯(cuò)6.4 島狀薄膜中的應(yīng)變和錯(cuò)配位錯(cuò)6.5 外延薄膜中其他缺陷的產(chǎn)生參考文獻(xiàn)第七章 薄膜中的擴(kuò)散7.1 擴(kuò)散的宏觀定律和微觀機(jī)制7.2 短路擴(kuò)散7.3 半導(dǎo)體晶體中的擴(kuò)散7.4 短周期超晶格中的互擴(kuò)散7.5 反應(yīng)擴(kuò)散7.6 表面擴(kuò)散7.7 表面擴(kuò)散的實(shí)驗(yàn)研究方法7.8 電遷移參考文獻(xiàn)第八章 薄膜的成核長(zhǎng)大熱力學(xué)第九章 薄膜的成核長(zhǎng)大動(dòng)力學(xué)第十章 金屬薄膜的生長(zhǎng)第十一章 半導(dǎo)體薄膜的生長(zhǎng)第十二章 氧化物薄膜的生長(zhǎng)第十三章 薄膜中的分形第十四章 薄膜的制備方法第十五章 薄膜研究方法

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