SOI技術(shù): 21世紀(jì)的硅集成電路技術(shù)

出版時(shí)間:1993  出版社:科學(xué)出版社  作者:(比)考林基(Colinge,J.P.)  譯者:武國(guó)英  
Tag標(biāo)簽:無  

內(nèi)容概要

書名原文:Silcon-on-insulator technology
內(nèi)容提要 本書包括:SOI材料、SOI材料的表征技術(shù)、SOI MOSFET、SOI電路等8章。
題名 Silcon-on-insulator technology
主題 絕緣襯底上外延硅MOS集成電路

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